[发明专利]激光加工前对外部光学系统异常进行警报的激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其在激光加工前对外部光学系统的异常进行警报，

其特征在于，该激光加工装置具备：

激光振荡器；

外部光学系统，其用于经由分束器对来自上述激光振荡器的正向的输出光进行导光；

反射板，其相对于从上述外部光学系统射出的出射光的光轴垂直地配置且对上述出射光具有一定的反射率，使上述出射光反射；

返回光测定部，其经由上述分束器测定由上述反射板反射而返回至上述外部光学系统的返回光的强度分布；

存储部，其将上述外部光学系统正常时的上述返回光的强度分布作为基准数据进行存储；

预处理部，其根据上述返回光的强度分布的测定数据与上述基准数据的比较，在激光加工前进行确定起因于上述外部光学系统的光轴偏移、光束直径异常、模式异常、重影、保护窗口的脏污、以及由热透镜效应引起的焦点偏移中的至少1种的处理；以及

警报部，其根据上述预处理部的处理对上述外部光学系统的异常进行警报。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

上述激光加工装置还具备：角度调整机构，其手动调整上述分束器的角度，

上述预处理部具有：

第1光轴偏移量计算部，其根据上述比较来计算第1光轴偏移量；以及

第1调整量计算部，其根据上述第1光轴偏移量来计算用于由上述角度调整机构进行的上述分束器的角度调整的第1调整量，

上述警报部将上述光轴偏移与上述第1调整量一起进行警报。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

上述激光加工装置还具备：驱动控制装置，其控制上述分束器的角度，

上述预处理部具有：

第1光轴偏移量计算部，其根据上述比较来计算第1光轴偏移量；

第1调整量计算部，其根据上述第1光轴偏移量来计算用于由上述驱动控制装置进行的上述分束器的角度调整的第1调整量；以及

分束器角度调整指令部，其对上述驱动控制装置指令上述第1调整量。

4.根据权利要求2或3所述的激光加工装置，其特征在于，

上述激光加工装置还具备：输出光测定部，其经由上述分束器测定上述输出光的强度分布，

上述预处理部还具有：

第2光轴偏移量计算部，其根据上述输出光的强度分布的测定数据与上述基准数据的比较来计算第2光轴偏移量；以及

第1异常区域确定部，其根据上述第1光轴偏移量和上述第2光轴偏移量来确定上述外部光学系统的异常区域，

上述警报部对上述异常区域进行警报。

5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

上述外部光学系统具有用于对上述输出光进行聚光的聚光透镜，

上述激光加工装置还具备：驱动控制装置，其控制上述聚光透镜的位置，

上述预处理部具有：

第1光束直径计算部，其根据上述比较来计算第1光束直径；

第2调整量计算部，其根据上述第1光束直径来计算用于由上述驱动控制装置进行的上述聚光透镜的位置调整的第2调整量；以及

聚光透镜位置调整指令部，其根据上述第2调整量对上述驱动控制装置指令上述聚光透镜的位置调整。

6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，

上述激光加工装置还具备：输出光测定部，其经由上述分束器对上述输出光的强度分布进行测定，

上述预处理部还具有：

第2光束直径计算部，其根据上述输出光的强度分布的测定数据与上述基准数据的比较来计算第2光束直径；以及

第2异常区域确定部，其根据上述第1光束直径和上述第2光束直径来确定上述外部光学系统的异常区域，

上述警报部对上述异常区域进行警报。