[发明专利]纯水设备

说明书

本发明揭示了纯水设备，按照水处理流径依次包括原水箱、原水泵组、多介质过滤器、活性碳过滤器、原水换热器、保安过滤器、一级泵组、一级反渗透系统、中间水箱、二级泵组、二级反渗透系统、淡水箱、淡水泵、UV杀菌器、EDI进水精密过滤器、EDI超纯水单元、氮封纯水箱、纯水泵、TOC单元、树脂抛光混床、终端过滤器，还包括冲洗系统、清洗系统及加药系统。本发明对传统的纯水设备进行了冲洗及清洗系统改良，能实现停机状态下的对各过滤器的深度清洁，延长了各过滤器的使用寿命。清洗系统采用有序循环结构，增加了水资源利用率，同时还能满足较优的清洗效果。整体构成简洁明了，易于实施，设备终端纯水满足电子级纯水需求，极大地降低了维护成本低。

技术领域

本发明涉及水处理，尤其涉及纯水设备，属于电子级大型超纯水处理设备的技术领域。

背景技术

纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、 化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”级。在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。随着电子级水标准的不断修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制纯水工艺的发展创造了条件。

在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

大型的纯水设备一般按流径包括原水箱、加药装置、多介质过滤器、加药装置、活性碳过滤器、全自动软化器、保安过滤器、一级反渗透系统、中间水箱、二级反渗透系统、纯水箱、TOC分解器、脱气膜、精密过滤器、EDI装置、纯水箱、抛光混床、膜过滤器。

众所周知，过滤杂质会影响到过滤器的流量，对纯水设备的运行存在影响，一般的纯水设备是通过定时的系统反冲洗及定时的过滤器维护进行的作业保障，过滤器维护即通过替换滤芯及清洁过滤器载体的方式进行。

传统的纯水设备对各过滤器的冲洗清洁能力较差，维护周期过于频繁，过滤器的有效使用寿命短，成本较高。另外，针对多介质过滤器、活性碳过滤器、反渗透系统、EDI装置都需要采用独立的冲洗结构及回路，设备结构复杂且设备成本较高。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术的不足，针对传统大型纯水设备所存在的问题，提出纯水设备。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：

纯水设备，按照水处理流径依次包括原水箱、原水泵组、多介质过滤器、活性碳过滤器、原水换热器、保安过滤器、一级泵组、一级反渗透系统、中间水箱、二级泵组、二级反渗透系统、淡水箱、淡水泵、UV杀菌器、EDI进水精密过滤器、EDI超纯水单元、氮封纯水箱、纯水泵、TOC单元、树脂抛光混床、终端过滤器，

所述纯水设备还包括：

冲洗系统，用于给所述多介质过滤器、活性碳过滤器进行正反向冲洗；

清洗系统，用于给一级反渗透系统、二级反渗透系统、及EDI超纯水单元进行正向冲洗，

加药系统，用于给纯水设备添加药剂。