[发明专利]托盘支撑和固定装置有效

专利信息
申请号: 201811412951.4 申请日: 2018-11-23
公开(公告)号: CN109536928B 公开(公告)日: 2020-10-09
发明(设计)人: 王晓亮;徐健凯;姜丽娟;王权;冯春;肖红领 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 托盘 支撑 固定 装置
【权利要求书】:

1.一种托盘支撑和固定装置,其特征在于,包括:

陶瓷盘,用于放置托盘;

压块,设置于陶瓷盘的边缘,用于固定托盘于陶瓷盘上;以及

金属支架,固定于陶瓷盘下方,具有n个支架臂,n≥3,用于支撑陶瓷盘,该金属支架与实现托盘旋转的旋转轴固定,在旋转时,带动陶瓷盘与其上放置的托盘一起稳固转动,其中,该金属支架的支架臂的长度小于陶瓷盘的半径。

2.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述陶瓷盘的边缘具有高于陶瓷盘平面的两级台阶,待放置的托盘放置于该陶瓷盘上时,与下一级台阶接触,与上一级台阶上表面对齐,托盘下方与陶瓷盘的下表面之间隔有空气层。

3.根据权利要求2所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述压块设置于陶瓷盘的上一级台阶上表面。

4.根据权利要求2所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述压块在径向上的长度大于所述上一级台阶在径向上的长度,在托盘放置于该陶瓷盘内时,使得压块能同时覆于上一级台阶与托盘上。

5.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述金属支架的支架臂的长度小于或等于陶瓷盘半径的0.5倍。

6.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述金属支架与陶瓷盘通过螺钉实现固定。

7.根据权利要求6所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述陶瓷盘的中心设有一贯穿的第一中心孔;所述金属支架的中心设有一贯穿的第二中心孔,第二中心孔与第一中心孔的中心位置对准,且第二中心孔的内径与旋转轴的直径相等,在旋转轴上部内设有螺纹孔;利用第一螺钉旋入该螺纹孔实现陶瓷盘、金属支架、以及旋转轴的固定。

8.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述陶瓷盘边缘的下部设有方形槽,在方形槽顶部设有第一开孔,所述压块上对应设有第二开孔,在陶瓷盘内放置托盘后,陶瓷盘的第一开孔与压块的第二开孔对准,利用第二螺钉穿入所述第二开孔和第一开孔,和螺母实现托盘在陶瓷盘内的紧固。

9.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,

所述压块的个数大于或等于2;和/或,

所述压块为一金属块。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述n个支架臂均匀分布,且长度相等。

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