[发明专利]托盘支撑和固定装置有效
申请号: | 201811412951.4 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN109536928B | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 王晓亮;徐健凯;姜丽娟;王权;冯春;肖红领 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 托盘 支撑 固定 装置 | ||
1.一种托盘支撑和固定装置,其特征在于,包括:
陶瓷盘,用于放置托盘;
压块,设置于陶瓷盘的边缘,用于固定托盘于陶瓷盘上;以及
金属支架,固定于陶瓷盘下方,具有n个支架臂,n≥3,用于支撑陶瓷盘,该金属支架与实现托盘旋转的旋转轴固定,在旋转时,带动陶瓷盘与其上放置的托盘一起稳固转动,其中,该金属支架的支架臂的长度小于陶瓷盘的半径。
2.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述陶瓷盘的边缘具有高于陶瓷盘平面的两级台阶,待放置的托盘放置于该陶瓷盘上时,与下一级台阶接触,与上一级台阶上表面对齐,托盘下方与陶瓷盘的下表面之间隔有空气层。
3.根据权利要求2所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述压块设置于陶瓷盘的上一级台阶上表面。
4.根据权利要求2所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述压块在径向上的长度大于所述上一级台阶在径向上的长度,在托盘放置于该陶瓷盘内时,使得压块能同时覆于上一级台阶与托盘上。
5.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述金属支架的支架臂的长度小于或等于陶瓷盘半径的0.5倍。
6.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述金属支架与陶瓷盘通过螺钉实现固定。
7.根据权利要求6所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述陶瓷盘的中心设有一贯穿的第一中心孔;所述金属支架的中心设有一贯穿的第二中心孔,第二中心孔与第一中心孔的中心位置对准,且第二中心孔的内径与旋转轴的直径相等,在旋转轴上部内设有螺纹孔;利用第一螺钉旋入该螺纹孔实现陶瓷盘、金属支架、以及旋转轴的固定。
8.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述陶瓷盘边缘的下部设有方形槽,在方形槽顶部设有第一开孔,所述压块上对应设有第二开孔,在陶瓷盘内放置托盘后,陶瓷盘的第一开孔与压块的第二开孔对准,利用第二螺钉穿入所述第二开孔和第一开孔,和螺母实现托盘在陶瓷盘内的紧固。
9.根据权利要求1所述的托盘支撑和固定装置,其中,
所述压块的个数大于或等于2;和/或,
所述压块为一金属块。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的托盘支撑和固定装置,其中,所述n个支架臂均匀分布,且长度相等。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的