[发明专利]一种带有上浮栅结构的梯形射频MEMS开关在审
| 申请号： | 201811414006.8 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109346381A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;郭昕;张玉龙;叶敏杰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频MEMS开关 悬臂梁 浮栅结构 驱动电压 栅结构 上浮 射频微电子机械系统 通信技术领域 工艺复杂度 悬臂梁结构 弹性系数 方向设置 静电驱动 使用寿命 通信领域 移动终端 电荷 充电层 隔离层 外边框 预充电 横梁 制作 兼容 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有浮栅结构的梯形射频MEMS开关，其特征在于包括衬底、两根信号传输线、两根地线、空气桥、悬臂梁、下电极、隔离层和电荷存储层；所述的两根信号传输线对称置于衬底上，所述的下电极置于两根信号传输线之间；所述的悬臂梁的一端通过锚点柱固定在一根信号传输线的上方，悬臂梁的另一端悬臂横跨在下电极的上方，到达另一根信号传输线端部的上方，另一根信号传输线的该端部设置有接触点；所述的隔离层和电荷存储层组成一个浮栅结构，该浮栅结构置于悬臂梁的下表面，其中的电荷存储层与下电极相对；所述的两根地线对称置于两根信号传输线两侧的衬底上，其中的一根地线在中间断开；所述的空气桥通过锚点柱架在地线中间断开处的上方；所述的下电极引出线置于衬底上，下电极引出线的一端与下电极相连接，与下电极相连接后的下电极引出线从空气桥下方穿出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811414006.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
