[发明专利]使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统

说明书

本发明公开了一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统，方法包括：提供标准扩束光学系统及标准扩束光学系统检测光路，标准扩束光学系统包括：主镜、次镜、调焦镜，标准扩束光学系统中，主镜、次镜、调焦镜针对近红外波段校正像差，为近似理想成像的平行光扩束系统；标准扩束光学系统检测光路包括：平面反射镜、干涉仪，平面反射镜及干涉仪分别设于标准扩束光学系统的左侧与右侧；使用可见光干涉仪对标准近红外光学系统进行装调，使标准光学系统两侧对于可见光干涉仪波长为平行光；按照设计结果精确移动调焦镜，使标准光学系统变为在近红外波段为平行光。本发明使用调焦镜移动位置补偿，使用干涉仪进行装调检测，保证光学系统精度。

技术领域

本发明涉及制造高精密光学系统装调技术领域，特别涉及一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统。

背景技术

在实际设计制造高精密光学系统过程中，不光需要对光学系统进行较好的设计，同时在加工制造过程中，需要控制加工公差等保证实际光学系统具有良好的成像质量。其中，对光学系统装调是其重要的一步。由于现在所使用的常见的高精度仪器为可见光干涉仪，其干涉仪发射的光线波长为632.8nm。而光学系统实际使用波长不一定包括此波段。如果光学系统针对此波段进行色差校正，则会导致光学系统更复杂，成本增加。本发明提出一种方法，通过设计光路使用调焦镜精确移动位置补偿的方式，在光学系统不校正色差的情况下，可以使用干涉仪进行装调检测，保证光学系统精度。

发明内容

本发明公开了一种使用干涉仪对非消色差光学系统的装调方法及系统，以解决未消色差光学系统无法使用可见光干涉仪进行检测装调的问题。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，包括：

(1)提供标准扩束光学系统及标准扩束光学系统检测光路，所述标准扩束光学系统包括：主镜、次镜、调焦镜，所述标准扩束光学系统中，所述主镜、次镜、调焦镜针对近红外波段校正像差，为理想成像的平行光扩束系统；所述标准扩束光学系统检测光路包括：平面反射镜、干涉仪，将所述平面反射镜及干涉仪分别设于所述标准扩束光学系统的光路两侧；

(2)移动所述调焦镜，使标准光学系统在使用所述干涉仪检测时，在所述干涉仪的波长保持两侧都是平行光。

在步骤(2)中，通过精确位置测量部件对所述调焦镜移动的距离进行测量。

在步骤(2)中，所述通过精确位置测量部件对所述调焦镜移动的距离进行测量，是通过光栅尺对所述调焦镜移动的距离进行测量。

所述标准扩束光学系统在设计时针对干涉仪波段，只通过移动所述调焦镜位置校正像差，使所述标准扩束光学系统可以通过所述干涉仪进行检测。

本发明还提供一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测系统，包括：

标准扩束光学系统检测光路，包括：平面反射镜、干涉仪，所述平面反射镜及干涉仪分别设于所述标准扩束光学系统的光路两侧；

所述调焦镜是可移动的，且通过移动所述调焦镜，使标准光学系统在使用所述干涉仪检测时，对于所述干涉仪的波长可以保持两侧都是标准平行光。

通过所述光栅尺对所述调焦镜移动的距离进行测量。

所述通过精确位置测量部件对所述调焦镜移动的距离进行测量，是通过光栅尺对所述调焦镜移动的距离进行测量。

所述标准扩束光学系统在设计时针对干涉仪波段，只通过移动所述调焦镜位置校正像差，使所述标准扩束光学系统可以通过所述干涉仪进行检测。

本发明的有益效果在于：本发明在只移动调焦镜位置情况下，就可以保证光学系统可以使用可见光干涉仪进行装调检测，本发明可以在不改变本来光学系统结构的情况下，降低设计难度，同时简化光学系统降低成本。