[发明专利]一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版有效
申请号: | 201811415668.7 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN109628908B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 杜骁 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/04 | 分类号: | C23C16/04;C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 柔性 oled 面板 薄膜 封装 模版 | ||
1.一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,包括掩模版框架和设置在所述掩模版框架内的掩模版本体;其中所述掩模版本体内定义有遮蔽区和开口区,其中所述开口区对应于柔性OLED面板的AA区;其特征在于,其中所述开口区内还定义有精密掩模版区,其对应于所述柔性OLED面板的弯折区;
其中所述精密掩模版区定义有相互分隔设置的精密开口,所述精密开口的大小对应于一个以上数量的像素点。
2.根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述精密开口的大小对应于所述OLED面板弯折区中的一个像素点,其中所述像素点包含红、绿、蓝三个子像素点。
3.根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述精密开口的大小对应于所述OLED面板的弯折区中与弯折方向垂直的一整排像素点。
4.根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述精密开口的大小对应于所述OLED面板的弯折区中不同形状的2~N个像素点,其中N为等于或是大于3的整数。
5.根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述精密掩模版区的区域范围对应所述弯折区并向其两侧外围延伸100~1000μm。
6.根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述精密掩模版区是通过电铸、蚀刻或金属拉丝中的一种方法构筑形成。
7. 根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述开口区的范围对应所述 AA区并向其外扩100~500um。
8.根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述掩模版本体内定义有两个或以上数量的开口区,其中至少一个所述开口区内定义有所述精密掩模版区。
9.根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述掩模版本体的厚度为0.02~0.2 mm。
10.根据权利要求1所述的一种用于柔性OLED面板薄膜封装的掩模版,其特征在于,其中所述掩模版本体的表面覆盖有保护膜,所述保护膜为全氟化碳涂层或Al2O3无机镀膜层。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的