[发明专利]一种带有移动升降装置的硅芯铸锭炉在审
申请号: | 201811415994.8 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN109252218A | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 唐凌翔 | 申请(专利权)人: | 浙江晶阳机电有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 吴宏宇 |
地址: | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅芯 铸锭炉 下炉体 驱动机构 上炉体 支架 移动升降装置 升降移动装置 分体式结构 石英坩埚 作业过程 时效性 炉体 投料 铸锭 升降 取出 驱动 移动 配合 | ||
本发明公开了一种带有移动升降装置的硅芯铸锭炉,包括支架,支架上固定安装有上炉体;下炉体上炉体和下炉体为分体式结构;驱动机构,驱动机构用于驱动所述的下炉体由支架的任一侧运动至上炉体正下方与上炉体配合。硅芯铸锭炉体使用驱动机构也即升降移动装置的作用如下:在硅芯铸锭炉作业过程中,通过将硅芯铸锭炉下炉体升降和移动,方便取出铸锭好的硅芯和向石英坩埚内投料,为作业提供了简单快捷的操作方法,同时提高了作业的时效性。
技术领域
本发明涉及硅芯铸锭炉,具体涉及一种带有移动升降装置的硅芯铸锭炉。
背景技术
硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备,而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
一般的硅芯铸锭炉都没有炉体升降移动装置,都是采用直接将炉体下降到一定的位置,不能将炉体移出操作平台,容易造成铸锭好的硅芯取出困难,影响向石英坩埚内投入硅料等现象。
发明内容
针对上述技术问题,本发明提供了一种带有移动升降装置的硅芯铸锭炉,在硅芯铸锭炉作业过程中,通过将硅芯铸锭炉下炉体升降和移动,方便取出铸锭好的硅芯和向石英坩埚内投料,为作业提供了简单快捷的操作方法,同时提高了作业的时效性。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:一种带带有移动升降装置的硅芯铸锭炉,包括
支架,支架上固定安装有上炉体;
下炉体;
上炉体和下炉体为分体式结构;
驱动机构,驱动机构用于驱动所述的下炉体由支架的任一侧运动至上炉体正下方与上炉体配合。
硅芯铸锭炉体使用驱动机构也即升降移动装置的作用如下:在硅芯铸锭炉作业过程中,通过将硅芯铸锭炉下炉体升降和移动,方便取出铸锭好的硅芯和向石英坩埚内投料,为作业提供了简单快捷的操作方法,同时提高了作业的时效性。
在上述方案的基础上,作为优选,驱动机构包括移动机构,移动机构包括由支架一侧外延伸至支架另一侧的直线导轨,直线导轨上安装与该直线导轨滑动配合的升降底座,
升降底座上安装升降机构,升降机构包括丝杆、丝杆滑块,丝杆滑块固定连接下炉体。
在上述方案的基础上,作为优选,直线导轨包括导轨座,导轨座上端面并行设置设有导轨、齿条,直线导轨有两条,且并行设置,齿条设置在两条导轨的相对侧,升降底座上固定有电机,电机的输出轴连接换向器,换向器具有输入轴、同步转动且同轴的两个输出轴,两个输出轴位于换向器的相对两侧,两个输出轴均通过联轴器连接传动连接轴,传动连接轴连接传动轴,传动轴上安装与齿条配合的齿轮。
在上述方案的基础上,作为优选,任一条传动连接轴上至少安装一个轴承座,轴承座内设置轴承,传动连接轴穿过轴承且与轴承内圈固定连接。
在上述方案的基础上,作为优选,升降机构还包括导向机构,导向机构包括固定在升降底座上的升降导杆以及设置在升降导杆上的导杆套,导杆套与下炉体固定连接。
在上述方案的基础上,作为优选,在导轨宽度方向上,升降底座上端面设有两列升降机构,两列升降机构对称设置,每列升降机构至少包括两个升降机构。
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