[发明专利]多路振镜独立加工分光光路装置以及激光加工设备在审
| 申请号： | 201811416398.1 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109407328A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王建刚;张义;程伟;成迎虹;李国栋;张伟 | 申请（专利权）人： | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B27/14 | 分类号： | G02B27/14;G02B27/28;B23K26/067 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 胡建文 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光路 激光束 关断 独立加工 分光组件 多路 支路 分光光路 激光器 调整件 透射 振镜 反射 激光 偏转 激光加工技术 激光加工设备 激光功能 光组件 有效地 图档 匹配 多头 加工 | ||
1.一种多路振镜独立加工分光光路装置，包括用于反射且透射接收后的激光束的多个分光组件，其特征在于：透射过每一所述分光组件后的激光束形成第一光路，每一所述分光组件反射所述第一光路中的激光束形成第二光路；每一所述分光组件均包括用于调整所述第一光路中激光的功率比例的调整件；每一所述第二光路中均设有用于选择关断激光束的关断件。
2.如权利要求1所述的多路振镜独立加工分光光路装置，其特征在于：每一所述调整件均包括偏振分光棱镜以及可旋转的零级半波片，所述零级半波片和所述偏振分光棱镜沿所述第一光路的方向依次排布，且所述第二光路由所述第一偏振分光棱镜中引出。
3.如权利要求2所述的多路振镜独立加工分光光路装置，其特征在于：每一所述调整件还均包括用于驱使所述零级半波片旋转的第一偏转电机，所述零级半波片的数量与所述第一偏转电机的数量相同且一一对应。
4.如权利要求1所述的多路振镜独立加工分光光路装置，其特征在于：每一所述关断件均包括挡光块以及可旋转的第一全反镜，所述第一全反镜与所述挡光块之前具有供分光后的激光束通过的通道。
5.如权利要求4所述的多路振镜独立加工分光光路装置，其特征在于：每一所述关断件均还包括用于驱使所述第一全反镜旋转的第二偏转电机，所述第一全反镜的数量与所述第二偏转电机的数量相同且一一对应。
6.如权利要求4所述的多路振镜独立加工分光光路装置，其特征在于：每一所述第一全反镜旋转时，其远离所述调整件的一端朝靠近所述挡光块的方向移动。
7.如权利要求1所述的多路振镜独立加工分光光路装置，其特征在于：还包括第二全反镜，所述第二反射镜反射所述第一光路中的激光束形成第三光路；多个所述调整件依次排布，所述第二全反镜位于各所述调整件排布的末端。
8.一种激光加工设备，包括用于发射激光束的激光器，其特征在于：还包括如权利要求1-7任一所述的一种多路振镜独立加工分光光路装置，所述分光组件具有接收所述激光器发射的激光的接收端。
9.如权利要求8所述的激光加工设备，其特征在于：还包括与多条所述第二光路一一对应的多个扫描振镜，以及可控制各所述关断件以及各所述扫描振镜独立工作的控制器；每一所述扫描振镜设于与其对应的所述第二光路中，且位于所述关断件的出光口处。
10.如权利要求9所述的激光加工设备，其特征在于：还包括与多个所述扫描振镜一一对应的多个加工平台，每一所述加工平台设于与其对应的所述扫描振镜的出光口处。
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