[发明专利]物理量传感器、电子机器及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：

基板；以及

被所述基板支承的元件部，

所述元件部包括：

安装于所述基板的固定部；

可动部；以及

连接所述固定部和所述可动部的支承梁，

所述可动部能够以所述支承梁为旋转轴移位，

所述可动部包括：

第一质量部，经由旋转轴，位于与所述旋转轴正交的第一方向的一侧；

第二质量部，位于所述第一方向的另一侧；以及

连结部，与所述支承梁连接，连结所述第一质量部和所述第二质量部，

所述连结部包括：第一缝隙、第二缝隙以及第三缝隙，

所述第二缝隙的所述第一方向上的中心位于比所述第一缝隙的所述第一方向上的中心靠所述第一质量部一侧，

所述第三缝隙的所述第一方向上的中心位于比所述第一缝隙的所述第一方向上的中心靠所述第二质量部一侧，

当在俯视下，将通过所述第一缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第一中心轴，在俯视下，将通过所述第二缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第二中心轴，在俯视下，将通过所述第三缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第三中心轴时，

所述第二中心轴以及所述第三中心轴分别相对于所述第一中心轴在沿着所述旋转轴的第二方向上错开。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述连结部具有：

第一连结部，在所述第二方向上的一侧将所述第一质量部与所述第二质量部连结；以及

第二连结部，在所述第二方向上的另一侧将所述第一质量部与所述第二质量部连结，

所述支承梁具有：

第一梁部，将所述固定部与所述第一连结部连接；以及

第二梁部，将所述固定部与所述第二连结部连接，

所述第一缝隙、所述第二缝隙以及所述第三缝隙分别设置于所述第一连结部及所述第二连结部。

3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

当在俯视下，所述固定部、所述第一梁部以及所述第二梁部在所述第一方向上位于所述第一质量部与所述第二质量部之间，

当在俯视下，所述固定部、所述第一梁部以及所述第二梁部在所述第二方向上位于所述第一连结部与所述第二连结部之间。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一缝隙是沿着所述第一方向的长条形状。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一缝隙的所述第一方向的两端部分别形成圆角。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第二缝隙以及所述第三缝隙分别是沿着所述第一方向的长条形状。

7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第二缝隙的所述第一方向的两端部分别形成圆角，

所述第三缝隙的所述第一方向的两端部分别形成圆角。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

沿着所述第一方向分别配置多个所述第二缝隙以及多个所述第三缝隙。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第二缝隙以及所述第三缝隙分别具有与将所述第一缝隙在所述第一方向上延长后的区域重合的区域。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第二缝隙以及所述第三缝隙分别具有与将所述第一缝隙在沿着所述第二方向上延长后的区域重合的区域。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

在沿着所述第二方向上配置多个所述第一缝隙。