[发明专利]绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法有效
申请号: | 201811418885.1 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN109524551B | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
发明(设计)人: | 杨冠军;李小磊;刘梅军;李臻;高黎黎;李长久;李成新 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/48 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 田洲 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 均匀 钙钛矿膜 液膜速涂气刀速干法抑爬 原位 连续 制备 方法 | ||
1.绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
第一步,钙钛矿液膜的均匀涂覆:将钙钛矿前驱体溶胶或溶液涂覆在具有金字塔绒面形貌的基底上,形成一层均匀仿形钙钛矿液膜;
第二步,仿形钙钛矿液膜的快速干燥:采用多流气刀的5~20个气流通道完成对仿形钙钛矿液膜的干燥;
第三步,钙钛矿液膜的热气退火处理:采用多流气刀30~50个气流通道,以温度为80~160℃的气体对钙钛矿薄膜进行10~30min的热处理,去除残余溶剂并使晶粒长大,得到全覆盖仿金字塔形的绒面均匀钙钛矿薄膜;
第二步在钙钛矿液膜涂覆后与干燥的过程中,在棱角处局部外法向固相和液相中溶质的总量与设计量之比不低于棱角处局部外法向钙钛矿薄膜可承受最小厚度与设计厚度之比前,完成对仿形钙钛矿液膜的干燥;
第一步涂覆的仿形钙钛矿液膜的厚度小于金字塔平均特征高度的60%;
金字塔平均特征高度范围为5-20微米。
2.根据权利要求1所述的绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法,其特征在于,所述固相和液相中溶质的总量包括已形核结晶的固相钙钛矿和液相中尚未结晶的钙钛矿。
3.根据权利要求2所述的绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法,其特征在于,所述已形核结晶的固相钙钛矿包括固相钙钛矿和以络合物形式存在的钙钛矿。
4.根据权利要求1所述的绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法,其特征在于,所述的金字塔绒面形貌的基底为硅金字塔绒面。
5.根据权利要求1所述的绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法,其特征在于,所述的金字塔绒面形貌的基底为沉积有仿形隧穿层的硅金字塔绒面、涂覆有仿形空穴传输层的硅金字塔绒面或涂覆有仿形电子传输层的硅金字塔绒面。
6.根据权利要求1所述的绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法,其特征在于,第二步中,在多流气刀液膜快速干燥设备中采用多流气刀的5~20个气流通道完成对仿形钙钛矿液膜的干燥;通气时,所通气体为不与钙钛矿液膜发生反应的气体。
7.根据权利要求6所述的绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法,其特征在于,不与钙钛矿液膜发生反应的气体为空气、氮气或氩气。
8.根据权利要求1所述的绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法,其特征在于,钙钛矿前驱体溶胶或溶液中溶质的化学通式为ABX3,其中A选自烷基胺、碱金属或其组合,B选自铅、锡或其组合,X选自Br、Cl、I或其组合。
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