[发明专利]蒸镀装置

说明书

一种蒸镀装置包括：蒸发器、气体容室、输送管、加热单元及控制器。其中，蒸发器用于容置并蒸发待蒸镀材料。气体容室用于收集待蒸镀材料的蒸发气体，在气体容室的一端面上设有多个间隔设置的喷嘴。多个输送管设于蒸发器及气体容室之间，且各输送管的二端分别连通于蒸发器及气体容室。加热单元设于蒸发器、气体容室及多个输送管的外围，用于加热蒸发器、气体容室及多个输送管。控制器电性连接于加热单元，用于控制加热单元的温度，使得气体容室内的温度和气压分别维持在一预定数值。

技术领域

本发明涉及蒸镀领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

在有机发光二极体面板(OLED)的生产中，需将有机材料置于蒸镀设备的蒸发源中进行蒸发，所形成的蒸发气体通过蒸发源的喷嘴喷射到上方的基板后，冷凝于基板表面，便完成蒸镀作业。

如图1所示，为现有的蒸镀装置的结构示意图，蒸镀装置1包括用于容置并蒸发有机材料的蒸发器20，蒸发器20的顶部设置有若干喷嘴12。当正常蒸镀作业时，所述蒸发器20被加热器(图中未示出)加热，蒸发器20内的待蒸镀材料受热蒸发成气体，再经过喷嘴12喷向基板(图中未示出)并冷凝成薄膜。对于现有的蒸镀装置，由于蒸发器20呈长条形，蒸发器20腔室内蒸气的压力不平衡，使得从不同位置喷嘴12喷出有机分子的蒸镀速率不一致，从而造成基板上的镀膜厚度不均匀，此缺陷在制作大尺寸OLED时尤其明显。

因此，有必要提供一种蒸镀装置，以解决上述镀膜厚度不均匀之问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀装置，可以控制有机分子的蒸镀速率，有效提升镀膜厚度的均匀性。

为实现上述目的，本发明提供一种蒸镀装置，其特征在于，包括:一蒸发器，用于容置并蒸发待蒸镀材料；一气体容室，用于收集所述待蒸镀材料的蒸发气体，在所述气体容室的一端面上设有多个间隔设置的喷嘴；多个输送管，设于所述蒸发器及所述气体容室之间，且各所述输送管的二端分别连通于所述蒸发器及所述气体容室；一加热单元，设于所述蒸发器、所述气体容室及所述多个输送管的外围，用于加热所述蒸发器、所述气体容室及所述多个输送管；以及一控制器，电性连接于所述加热单元，用于控制所述加热单元的温度，使得所述气体容室内的温度和气压分别维持在一预定数值。

在一些实施方式中，所述加热单元包括一第一加热元件，设于所述蒸发器的外围，所述第一加热元件电性连接于所述控制器。

在一些实施方式中，所述加热单元还包括至少一个第二加热元件，设于所述多个输送管的外围，所述至少一个第二加热元件电性连接于所述控制器。

在一些实施方式中，所述加热单元还包括一第三加热元件，设于所述气体容室的外围，所述第三加热元件电性连接于所述控制器。

在一些实施方式中，所述蒸发器为坩埚。

在一些实施方式中，所述多个输送管间隔设置于所述蒸发器及所述气体容室之间。

在一些实施方式中，所述气体容室为长条箱体。

在一些实施方式中，所述加热单元为加热丝、加热片的其中一种。

在一些实施方式中，所述多个喷嘴线性均匀等距地排列于所述气体容室的端面上。

为让本发明的特征以及技术内容能更明显易懂，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

图1为现有的蒸镀装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图。

具体实施方式