[发明专利]一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置在审
| 申请号： | 201811420472.7 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109338310A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张俊峰;赵子东;许春立;张大剑 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201505 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶头 连接法兰 多弧离子镀设备 密封绝缘 圆形平面 靶装置 绝缘垫 靶材 靶座 内六角螺丝 磁钢装置 动作稳定 离子镀膜 连接螺丝 螺丝固定 气动控制 生产效率 引弧装置 真空腔体 装置安装 接线柱 绝缘套 螺孔中 屏蔽罩 压法兰 引弧针 压住 焊接 密封 装配 外部 | ||
1.一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，其特征在于，包括靶座(1)、密封绝缘垫(2)、连接螺丝绝缘套(3)、靶连接法兰(4)、靶连接上压法兰(5)、靶头绝缘垫(6)、外部接线柱(7)、靶材(8)、屏蔽罩(9)、磁钢装置(10)、引弧装置(11)和靶头装置(16)，靶座(1)焊接在真空腔体上，密封绝缘垫(2)安装在靶座(1)上，靶连接法兰(4)压住密封绝缘垫(2)设置，连接螺丝绝缘套(3)通过内六角螺丝固定安装在靶连接法兰(4)的螺孔中，O型圈安装在靶连接法兰(4)上，靶头绝缘垫(6)安装在O型圈上，靶头装置(16)安装在靶头绝缘垫(6)上，靶头装置(16)内部通过靶连接上压法兰(5)固定有磁钢装置(10)，靶材(8)在真空侧通过螺丝固定在靶头装置(16)上，屏蔽罩(9)通过靶材(8)装配在靶连接法兰(4)上，靶头装置(16)上还连接有外部接线柱(7)，引弧装置(11)安装在靶连接法兰(4)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，其特征在于，所述的靶头装置(16)上设置有通向靶材(8)的靶材冷却水进口(12)和靶材冷却水出口(13)；靶连接法兰(4)上设置有靶连接法兰冷却水进口(14)、靶连接法兰冷却水出口(15)。
3.根据权利要求1所述的一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，其特征在于，所述的引弧装置(11)包括汽缸(110)、上连接法兰(111)、支撑杆(112)、绝缘导向板(113)、下连接法兰(114)、密封O型圈(115)、密封骨架油封(116)、导向杆绝缘套(117)、引弧针(118)、导向主杆(119)、引弧连接线(1110)、引弧接线柱(1111)和支撑杆绝缘套(1120)，汽缸(110)上固定有连接法兰(111)，支撑杆(112)通过支撑杆绝缘套(1120)固定在上连接法兰(111)上，再连接至下连接法兰(114)，导向主杆(119)通过丝压固定在汽缸活塞杆上，导向主杆(119)和汽缸活塞杆中间安装有绝缘导向板(113)，导向主杆(119)通过密封O型圈(115)、密封骨架油封(116)、导向杆绝缘套(117)装配在一起，引弧针(118)安装在导向主杆(119)上，引弧接线柱(1111)连接在弧电源的引弧连接线(1110)上。
4.根据权利要求1所述的一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，其特征在于，所述的磁钢装置(10)包括调节旋钮(101)、调节拉杆(102)、磁钢座上绝缘板(103)、磁钢骨架(104)、磁钢座(105)和永磁钢(106)，永磁钢(106)安装在磁钢槽中，调节拉杆(102)和磁钢骨架(104)通过胶水固定在磁钢座(105)上，磁钢座上绝缘板(103)通过调节拉杆(102)的丝压装配在一起，调节旋钮(101)固定在调节拉杆(102)上。
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