[发明专利]一种非接触式基片架传动磁导向装置在审
| 申请号： | 201811420518.5 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109355630A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张俊峰;赵子东;许春立;张大剑 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201505 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁导向装置 基片架 非接触式 装卸台 导轮 真空室 磁导向单元 导向定位 同步带轮 传动 导杆 顶杆 磁极 真空镀膜箱 半圆凹槽 动力传递 开口朝下 驱动部件 同轴相连 圆形导杆 磁流体 磨擦力 排斥力 上磁铁 轴承座 磁铁 插装 斥力 前行 | ||
1.一种非接触式基片架传动磁导向装置，其特征在于，包括装卸台磁导向装置(A)和真空室磁导向装置(B)，真空室磁导向装置(B)安装在真空镀膜箱顶板(1)上，装卸台磁导向装置(A)设置在装卸台顶板(2)上，真空室磁导向装置和装卸台磁导向装置的U型槽(3)开口朝下设置，基片架顶杆(4)插装在U形槽(3)内的磁导向单元之间，基片架顶杆(4)上设置的磁铁与U形槽内的磁导向单元上磁铁磁极相对应，互为斥力，形成非接触式导向定位；基片架底部安装有圆形导杆(5)，导杆安装在带有半圆凹槽的导轮(6)上；导轮经真空室的磁流体(7)或装卸台的轴承座(8)与同步带轮(9)同轴相连，由驱动部件通过同步带轮将动力传递给导轮，靠导轮与导杆间的磨擦力使基片架前行。
2.根据权利要求1所述的一种非接触式基片架传动磁导向装置，其特征在于，所述的真空室磁导向装置的磁导向单元包括固定圈(10)、连接座(11)、固定座(12)、真空室磁导向磁铁(13)、磁铁压条(14)、吊筒(15)、销轴(16)、螺钉(17)和磁铁座(18)，吊筒(15)与固定圈(10)螺纹配合，吊筒(15)通过销轴(16)和螺钉(17)固定在连接座(11)上，连接座(11)设置在固定座(12)上，固定座(12)底部焊接有开口向下的U型槽真空室磁铁座(18)，真空室磁铁座(18)两内侧壁通过真空室磁铁压条(14)固定有真空室磁导向磁铁(13)。
3.根据权利要求1所述的一种非接触式基片架传动磁导向装置，其特征在于，所述的装卸台磁导向装置的磁导向单元包括装卸台磁铁(19)、装卸台磁铁座(20)和装卸台磁铁压条(21)，装卸台磁铁座(20)为开口向下的U型槽结构，装卸台磁铁座(20)两侧内壁通过装卸台磁铁压条(21)固定有装卸台磁铁(19)。
4.根据权利要求1所述的一种非接触式基片架传动磁导向装置，其特征在于，所述的真空室磁铁座(18)上开有红外线元件发射识别孔，用于接受来自基片架信号，通过PLC控制基片架的运行。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海子创镀膜技术有限公司，未经上海子创镀膜技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811420518.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
