[发明专利]音叉型水晶振动元件以及压电器件

说明书

本发明提供一种音叉型水晶振动元件以及压电器件，在音叉元件中能够减少安装前后的振荡频率的变化。音叉元件(10)具备：基部(11)；一对振动臂部(12a、12b)，从基部11起在相同的长边方向延伸；和锤部(16a、16b)，位于振动臂部(12a、12b)的前端。并且，在俯视下，将长边方向的尺寸设为长度，将与长边方向垂直的方向的尺寸设为宽度，将振动臂部(12a、12b)以及锤部(16a、16b)的长度与基准值x₀的差设为x，将锤部(16a、16b)的宽度与基准值y₀的差设为y，将单位设为μm时，以下的式(1)成立。‑100≤x≤100、‑30≤y≤3，且‑0.3x‑15≤y≤‑0.3x+15…(1)。

本申请要求2017年11月28日提交的日本专利申请2017-227953的优先权，将其全部内容援引于此。

技术领域

本公开涉及基准信号源或者时钟信号源中使用的音叉型水晶振动元件(以下简称为“音叉元件”。)、以及安装有该音叉型水晶振动元件的压电器件。

背景技术

关联技术的音叉元件具备：基部、从基部起在相同的长边方向延伸的一对振动臂部、和位于振动臂部的前端的锤部(参照JP特开2017-98765号公报)。并且，振动臂部具有槽部，在该槽部的内外具有激励电极。根据该音叉元件，由于通过在振动臂部的前端具有锤部，能够使振动臂部较短的状态下降低弯曲振动的频率，因此，能够使得音叉元件小型化。此外，通过槽部的内外的激励电极，能够向振动臂部施加电压。

发明内容

本公开的一实施方式的目的在于，提供在振动臂部的前端具有锤部的音叉元件中能够减少安装前后的振荡频率的变化的技术。

本公开的一实施方式所涉及的音叉元件具备：

基部；

一对振动臂部，从所述基部起在相同的长边方向延伸；和

锤部，位于所述振动臂部的前端，

在俯视下，将所述长边方向的尺寸设为长度，将与所述长边方向垂直的方向的尺寸设为宽度，

将所述振动臂部以及所述锤部的所述长度的基准值设为x₀，将所述锤部的所述宽度的基准值设为y₀，

将所述振动臂部以及所述锤部的所述长度与所述基准值x₀的差设为x，将所述锤部的所述宽度与所述基准值y₀的差设为y，将单位设为μm时，以下的式(1)成立，

-100≤x≤100，-30≤y≤30，且

-0.3x-15≤y≤-0.3x+15…(1)。

根据本公开的一实施方式，通过改善振动臂部以及锤部的长度与锤部的宽度的关系，能够在音叉元件的安装前后减少振荡频率的变化。

附图说明

图1是表示实施方式1的音叉元件的俯视图。

图2A是图1中的IIa-IIa线剖视图，图2B是表示安装有图1的音叉元件的压电器件的示意剖视图。

图3是表示图1的音叉元件的主要的尺寸的一例的俯视图。

图4A至图4F是表示图1的音叉元件的振动模式的示意俯视图，图4A是同相，图4B是主振动，图4C是海豚式，图4D是单腿式，图4E是扭曲(同相)，图4F是扭曲(反相)。

图5A是表示使臂长度x以及锤宽度y变化的情况下的free-fix的图表。

图5B是表示臂长度x以及锤宽度y与free-fix的关系的曲线。