[发明专利]基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器有效
| 申请号： | 201811423034.6 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109580981B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 易真翔;万煜;邓文俊;王立峰 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 熊玉玮 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 电感 结构 风速 传感器 | ||
1.基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器，其特征在于，所述风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构，所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且相互平行，柔性电感的金属层与硅基电感的金属层之间留有足够互感电动势的空气腔，所述硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块。
2.根据权利要求1所述基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器，其特征在于，所述柔性电感为上层电感结构，硅基电感为下层电感结构。
3.根据权利要求1所述基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器，其特征在于，所述硅基电感为上层电感结构，柔性电感为下层电感结构。
4.根据权利要求1所述基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器，其特征在于，所述柔性电感通过在柔性衬底上淀积金属层形成，在柔性衬底上旋涂光刻胶，刻蚀需要制备电感线圈的部位的光刻胶，采用蒸发法淀积金属层后剥离光刻胶形成电感线圈。
5.根据权利要求1所述基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器，其特征在于，所述硅基电感通过在硅衬底上淀积金属层形成，在硅衬底上旋涂光刻胶，刻蚀需要制备电感线圈和接触块的部位的光刻胶，采用蒸发法淀积金属层后剥离光刻胶形成电感线圈和接触块。
6.根据权利要求4所述基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器，其特征在于，所述柔性衬底为聚对苯二甲酸类衬底。
7.利用权利要求1至6中任意一项所述基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器检测风速的方法，其特征在于，固定柔性电感和硅基电感并调整二者之间的距离以使二者之间的空气腔足够互感电动势，向空气腔内送风，检测测定端口的输入回波损耗，根据输入回波损耗曲线确定硅基电感的中心频率点，反推硅基电感的中心频率点与风速的关系式确定风速测量值。
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