[发明专利]一种加热旋转平台装置及其使用方法

说明书

本发明属于半导体制程中喷胶领域，具体地说是一种加热旋转平台装置及其使用方法，装置包括单元平台、加热盘、连接法兰、中空旋转电机、固定架及中空旋转平台，固定架固接于单元平台上，中空旋转电机安装在固定架上，中空旋转平台可相对转动地设置在固定架上，并由中空旋转电机驱动旋转；连接法兰的一端与中空旋转平台相连，另一端由单元平台穿过、并连接有加热盘，加热盘上的加热丝电线及真空管由连接法兰内部、中空旋转平台穿过。本发明解决了现有技术需要定期人工校准的麻烦，且取缔了易坏导电滑环的使用。方便了人工操作且提供了工作效率。

技术领域

本发明属于半导体制程中喷胶领域，具体地说是一种加热旋转平台装置及其使用方法。

背景技术

传统的喷胶机设备，其单元内基本上是由电机皮带轮带动加热盘体旋转；因皮带在长时间运转下会有松动的情况，需要人工定期进行校准相位角。另外，由电机皮带轮带动加热旋转盘体的结构，需要使用导电滑环对盘体的加热丝和电气件连接，由于喷胶机的本身工艺原因，喷胶单元内的粉尘颗粒较多，通常会导致导电滑环损坏而不通电。

发明内容

为了解决因现有皮带轮电机应用限制而导致的上述问题，本发明的目的在于提供一种加热旋转平台装置及其使用方法。该加热旋转平台装置解决了现有技术需要定期人工校准的麻烦，且取缔了易坏导电滑环的使用。方便了人工操作且提供了工作效率。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明的加热旋转平台装置包括单元平台、加热盘、连接法兰、中空旋转电机、固定架及中空旋转平台，其中固定架固接于单元平台上，所述中空旋转电机安装在固定架上，中空旋转平台可相对转动地设置在固定架上，并由所述中空旋转电机驱动旋转；所述连接法兰的一端与中空旋转平台相连，另一端由所述单元平台穿过、并连接有加热盘，该加热盘上的加热丝电线及真空管由所述连接法兰内部、中空旋转平台穿过；

其中：所述连接法兰为中空结构，两端分别与中空旋转平台及加热盘的底面固接；

所述单元平台上开设有通孔，所述连接法兰由该通孔穿过，所述通孔直径大于或等于连接法兰的外径；

所述加热丝电线的一端与加热盘相连，另一端依次穿过连接法兰、中空旋转平台后与位于所述单元平台下部的加热电气件连接；

所述真空管的一端与加热盘相连，另一端依次穿过连接法兰、中空旋转平台后通过真空管路与位于所述单元平台下部的负压源相连通。

本发明加热旋转平台装置的使用方法为：

在进行喷胶工艺作业时，当前后两片晶圆进行相同工艺时，所述中空旋转电机驱动中空旋转平台旋转，进而带动连接法兰及加热盘旋转，该加热盘顺时针旋转设定工艺角度，直到旋转至一片晶圆工艺做完；待下一片晶圆进行喷胶作业时，所述加热盘在当前位置再通过中空旋转电机的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转回原位，此片晶圆工艺也作业完成；当前后两片晶圆进行不同工艺时，前一片晶圆工艺做完后，所述加热盘通过中空旋转电机的驱动回归原位，然后再进行下一片不同工艺作业的晶圆，通过中空旋转电机的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转至下一片晶圆工艺做完。

本发明的优点与积极效果为：

本发明的加热旋转平台装置替代了电机皮带轮带动加热旋转盘体的动力形式，有效避免了人工定期校准皮带轮的紧度和相位角的操作，提供了工作效率，节省了维护时间，变相的提高了设备的产能。同时，因导电滑环在喷胶环境中损坏的几率比较高，本发明的加热旋转平台装置取缔了导电滑环的使用，所以相应的节省了成本。

附图说明

图1为本发明加热旋转平台装置的立体结构示意图；

图2为本发明加热旋转平台装置的结构侧视图；

图3为本发明加热旋转平台装置的结构俯视图；