[发明专利]物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：

基板；

固定部，固定于所述基板；

可动部，所述可动部包括俯视观察时包围所述固定部的框部，与所述固定部连接，并能相对于所述基板在第一方向上位移；以及

可动电极，支承于所述可动部，

所述可动部包括骨干部，所述骨干部在俯视观察时位于所述框部的内侧，并呈沿着所述第一方向的长条形状，所述骨干部以随着往其前端侧而与中心轴的分离距离变大的方式倾斜；

所述框部包括：

第一外缘部，位于所述第一方向的一侧，并沿着与所述第一方向正交的第二方向配置；以及

第二外缘部，位于所述第一方向的另一侧，并沿着所述第二方向配置，

相比所述第一外缘部，所述固定部更靠所述第二外缘部一侧而配置，

所述基板包括：

第一凸部，在俯视观察时与所述第一外缘部重叠、且与所述第一外缘部相分离地配置；以及

第二凸部，在俯视观察时与所述第二外缘部重叠、且与所述第二外缘部相分离地配置。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述可动部通过在与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向上位移而与所述第一凸部和所述第二凸部接触，

所述可动部与所述第一凸部的接触面积大于所述可动部与所述第二凸部的接触面积。

3.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一凸部和所述第二凸部分别在俯视观察时被内包于所述可动部内。

4.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器包括配置于所述基板的在所述可动部一侧的面中的、于俯视观察时与所述可动部重叠的区域中至少一部分区域的电极，

所述电极与所述可动部为同电位。

5.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，所述物理量传感器包括：

梁，呈沿所述第一方向的长条形状，所述梁的一端部连接于所述固定部；以及

弹簧，连接所述梁的另一端部与所述可动部，

所述基板包括第三凸部，所述第三凸部在俯视观察时与所述梁重叠、且与所述梁相分离地配置。

6.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述基板包括第四凸部，所述第四凸部在俯视观察时与所述骨干部重叠、且与所述骨干部相分离地配置。

7.一种物理量传感器装置，其特征在于，包括：

权利要求1至6中任一项所述的物理量传感器；以及

电路元件。

8.一种复合传感器装置，其特征在于，包括：

第一物理量传感器，为权利要求1至6中任一项所述的物理量传感器；以及

第二物理量传感器，检测与所述第一物理量传感器不同的物理量。

9.一种惯性计测装置，其特征在于，包括：

权利要求1至6中任一项所述的物理量传感器；以及

控制电路，控制所述物理量传感器的驱动。

10.一种电子设备，其特征在于，包括：

权利要求1至6中任一项所述的物理量传感器；以及

控制部，根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。

11.一种移动体，其特征在于，包括：

权利要求1至6中任一项所述的物理量传感器；以及

控制部，根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。