[发明专利]用于车辆LIDAR的多小平面MEMS反射镜装置

权利要求书

1.一种MEMS装置(22)，包括：

基部(40)；以及

被支撑在所述基部(40)上的多个镜面(42)，所述多个镜面(42)分别相对于所述基部(40)处于固定位置，所述多个镜面(42)相对于基准(44)成对应角度(80-86)，其中，所述镜面(42)中的至少一些镜面的对应角度与所述镜面(42)中的至少一些其它镜面的对应角度不同，所述多个镜面(42)呈V形图案(50-62)布置，所述V形图案(50-62)包括多个V形(50-62)，每个所述V形包括所述多个镜面(42)中的相应的多个镜面(42)，每个所述V形的峰居中在所述相应的多个镜面(42)上，并且每个所述V形关于所述相应的多个镜面(42)的纵向中心对称。

2.根据权利要求1所述的MEMS装置(22)，其特征在于，所述镜面(42)中的至少两个镜面相对于所述基准(44)成所述角度中的第一个角度(80)。

3.根据权利要求1所述的MEMS装置(22)，其特征在于，

所述镜面中的至少第一个镜面(42A)靠近对应的所述V形(50-62)的峰；

所述镜面中的至少第二个镜面(42D)靠近对应的所述V形的侧向端部；

所述镜面中的所述第一个镜面(42A)成所述角度中的第一个角度；

所述镜面中的所述第二个镜面(42D)成所述角度中的第二个角度；以及

所述角度中的所述第一个角度比所述角度中的所述第二个角度更陡。

4.根据权利要求3所述的MEMS装置(22)，其特征在于，

所述基部(40)包括与所述镜面(42)相反朝向的侧面(44)；

所述镜面中的所述第一个镜面(42A)距所述侧面(44)第一距离(t₁)；

所述镜面中的所述第二个镜面(42B)距所述侧面(44)第二距离(t₂)；以及

所述第一距离(t₁)大于所述第二距离(t₂)。

5.根据权利要求3所述的MEMS装置(22)，其特征在于，

对应的所述V形(50-62)包括在所述镜面中的所述第一个镜面(42A)和所述镜面中的所述第二个镜面(42D)之间的至少一个中间镜面(42B、42C)；

所述至少一个中间镜面(42B、42C)成所述角度中的在所述角度中的所述第一个角度和所述角度中的所述第二个角度之间的角度。

6.根据权利要求1所述的MEMS装置(22)，其特征在于，

所述V形中的第一个V形(50)靠近所述基部(40)的一个边缘(90)；

所述V形中的第二个V形(62)靠近所述基部(40)的相反边缘(92)；以及

所述V形中的所述第一个V形(50)的镜面(42)的对应角度大于所述V形中的所述第二个V形(62)的镜面(42)的对应角度。

7.根据权利要求6所述的MEMS装置(22)，其特征在于，

所述V形中的第三个V形(56)在所述V形中的所述第一个V形(50)和所述V形中的所述第二个V形(62)之间；

所述V形中的所述第三个V形(56)的镜面(42)的对应角度大于所述V形中的所述第一个V形(50)的镜面(42)的对应角度；以及

所述V形中的所述第三个V形(56)的镜面(42)的对应角度小于所述V形中的所述第二个V形(62)的镜面(42)的对应角度。

8.根据权利要求1所述的MEMS装置(22)，其特征在于，所述镜面(42)是平坦的。

9.根据权利要求8所述的MEMS装置(22)，其特征在于，

所述镜面(42)中的每个镜面是矩形的并且具有四个边缘；

所述镜面(42)中的每个镜面的边缘中的两个边缘(104，106)平行于所述镜面中的其它镜面的边缘中的两个边缘；以及

所述镜面(42)中的每个镜面的边缘中的所述两个边缘(104，106)成对应的所述镜面(42)的所述对应角度。