[发明专利]一种基于柔性螺旋电感结构的风速传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种制备基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的方法，所述基于柔性螺旋电感结构的风速传感器包括衬底（1），位于衬底（1）上表面的等间距布置的螺旋电感线圈（2），所述螺旋电感线圈（2）两端分别与第一螺旋电感接触块（7）、第二螺旋电感接触块（8）连接，第一、第二金属连接线（3）、（4）位于衬底（1）中，并贯穿衬底（1），第一、第二接触块（9）、（10）位于衬底（1）下表面且与第一、第二螺旋电感接触块（7）、（8）正对应，所述第一金属连接线（3）连接第一螺旋电感接触块（7）和第一接触块（9），所述第二金属连接线（4）连接第二螺旋电感接触块（8）和第二接触块（10），位于衬底（1）下表面的第一、第二测试接触块（11）、（12）与衬底（1）下表面边缘（14）距离为L，位于衬底（1）下表面的第一金属导线（5）连接第一接触块（9）和第一测试接触块（11），位于衬底（1）下表面的第二金属导线（6）连接第二接触块（10）和第二测试接触块（12）；

其特征在于：包括以下步骤，

（1）准备衬底（1）；

（2）衬底（1）上表面处理：

（2.1）旋涂光刻胶，光刻并刻蚀，去除需要生长螺旋电感线圈（2）和第一、第二螺旋电感接触块（7）、（8）处的光刻胶；

（2.2）蒸发Cu淀积，剥离光刻胶，形成螺旋电感线圈（2），和第一、第二螺旋电感接触块（7）、（8）；

（3）衬底（1）下表面处理：

（3.1）在第一、第二螺旋电感接触块（7）、（8）正下方对应处用第一、第二金属连接线（3）、（4）贯穿衬底（1）；

（3.2）旋涂光刻胶，光刻并刻蚀，去除需要生长第一、第二金属导线（5）、（6）和第一、第二接触块（9）、（10）以及第一、第二测试接触块（11）、（12）处的光刻胶；

（3.3）蒸发Cu淀积，剥离光刻胶，形成第一、第二金属导线（5）、（6），第一、第二接触块（9）、（10）和第一、第二测试接触块（11）、（12）。

2.根据权利要求1所述制备基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的方法，其特征在于：所述的衬底（1）为聚对苯二甲酸类衬底。

3.根据权利要求1所述制备基于柔性螺旋电感结构的风速传感器的方法，其特征在于：所述衬底（1）长100mm、宽100mm，厚度1mm；螺旋电感线圈（2）宽2mm、厚度0.1mm；多圈线圈之间的间隔距离（13）宽2mm；第一、第二螺旋电感接触块（7）、（8）长5mm、宽5mm、厚度0.1mm；第一、第二金属连接线（3）、（4）长1mm；第一、第二接触块（9）、（10）长5mm、宽5mm、厚度0.1mm；第一金属导线（5）长35mm、宽2mm、厚度0.1mm；第二金属导线（6）长10mm、宽2mm、厚度0.1mm； 第一、第二测试接触块（11）、（12）长5mm、宽5mm、厚度0.1mm，与衬底（1）下表面边缘（14）的距离L为1-3m。