[发明专利]一种高温低压多次反射池控制系统

权利要求书

1.一种高温低压多次反射池控制系统，其特征在于，第一电动调节阀(2)、电子流量计(4)、多次反射池(7)、第二电动调节阀(13)、缓冲罐(16)、第三电动调节阀(17)、真空泵(19)；

第一电动调节阀(2)、电子流量计(4)、多次反射池(7)、第二电动调节阀(13)、缓冲罐(16)由高温伴热管线顺序连接，缓冲罐(16)后接第三电动调节阀(17)和真空泵(19)；

还包括高温控制部分和低压控制部分。

2.根据权利要求1所述的高温低压多次反射池控制系统，其特征在于，所述高温控制部分包括加热膜、热电偶、主控单元、电流源、ADC模块、DAC模块；

多次反射池(7)分为若干控温区域，热电偶分别测量各个控温区域的温度数据，主控单元通过ADC模块采集温度数据，经过相应的逻辑分析后控制DAC模块的输出电压，进而控制电流源的输出电流，从而改变各路加热膜的加热功率。

3.根据权利要求1所述的高温低压多次反射池控制系统，其特征在于，所述高温控制部分包括三路加热膜、三个热电偶、第一主控单元(24)、三路电流源(26)、三路ADC模块、三路DAC模块；

多次反射池(7)平分为前中后三个控温区域，三个热电偶分别测量三个控温区域的温度数据，主控单元(24)通过三路ADC模块采集温度数据，经过相应的逻辑分析后控制三路DAC模块的输出电压，进而控制三路电流源(26)的输出电流，从而改变三路加热膜的加热功率。

4.根据权利要求2或3所述的高温低压多次反射池控制系统，其特征在于，还包括聚四氟乙烯保温层(6)，聚四氟乙烯保温层紧贴多次反射池外部的加热膜。

5.根据权利要求1所述的高温低压多次反射池控制系统，其特征在于，所述低压控制部分包括压力传感器、电子流量计、I/V转换(33)、第二主控单元(35)、三路ADC模块、三路DAC模块；

第一压力传感器(11)连接多次反射池(7)，第二压力传感器(15)连接缓冲罐(16)；

电子流量计和压力传感器的输出电流信号经过I/V转换(33)后分别由三路ADC模块采集，采集的数据输入第二主控单元(35)，经过相应的逻辑分析后调节三路DAC模块的输出电压，从而实现三路电动阀的开度控制。

6.根据权利要求5所述的高温低压多次反射池控制系统，其特征在于，当缓冲罐(16)中气压超过设定最高阈值时，关闭第一电动调节阀(2)，第二电动调节阀(13)、第三电动调节阀(17)处于全开状态，启动真空泵(19)；气压降至设定最高阈值时，关闭第二电动调节阀(13)，真空泵继续工作；缓冲罐(16)中的气压降至设定最低阈值时，关闭第三电动调节阀(17)，关停真空泵(19)；由缓冲罐充当负压源，实时微调第一电动调节阀(2)和第二电动调节阀(13)的开度，使多次反射池(7)内第一压力传感器(11)的示数稳定在设定值。

7.根据权利要求5所述的高温低压多次反射池控制系统，其特征在于，当缓冲罐(16)中气压超过设定值3kPa时，关闭第一电动调节阀(2)，第二电动调节阀(13)、第三电动调节阀(17)处于全开状态，启动真空泵(19)；气压降至设定值3kPa时，关闭第二电动调节阀(13)，真空泵继续工作；缓冲罐(16)中的气压降至设定值200Pa时，关闭第三电动调节阀(17)，关停真空泵(19)；由缓冲罐充当负压源，实时微调第一电动调节阀(2)和第二电动调节阀(13)的开度，使多次反射池(7)内第一压力传感器(11)的示数稳定在设定值。

8.根据权利要求5所述的高温低压多次反射池控制系统，其特征在于，还包括气体预处理装置(18)，连接于第三电动调节阀(17)和真空泵(19)之间，气体预处理装置用作高温气体的冷却及过滤。