[发明专利]一种偏振分光棱镜组及光刻机

权利要求书

1.一种偏振分光棱镜组，其特征在于，包括：

第一双折射棱镜；

第二双折射棱镜，所述第二双折射棱镜的入射面与所述第一双折射棱镜的出射面直接接触，形成交界面；

一束光线以预设角度从所述第一双折射棱镜的入射面入射，经过所述交界面进入所述第二双折射棱镜，并分成偏振态相互垂直的两束偏振光，所述两束偏振光中的一束经过所述第二双折射棱镜的第一出射面出射，另一束在所述第二双折射棱镜的第一出射面发生全反射后经过所述第二双折射棱镜的第二出射面出射；其中，所述光线的入射方向与所述第一双折射棱镜的光轴方向垂直；

所述第一双折射棱镜和所述第二双折射棱镜均为正单轴晶体或均为负单轴晶体；

所述第一双折射棱镜的光轴方向与所述第二双折射棱镜的光轴方向垂直；

所述光线经过所述交界面进入所述第二双折射棱镜，并分成第一偏振方向的寻常光和第二偏振方向的非常光，所述非常光经过所述第二双折射棱镜的第一出射面出射，所述寻常光在所述第二双折射棱镜的第一出射面发生全反射后经过所述第二双折射棱镜的第二出射面出射；

所述交界面与所述第一双折射棱镜的入射面的夹角θ₁满足：

所述第二双折射棱镜的第一出射面与所述第一双折射棱镜的入射面的夹角θ₂满足：

所述第二双折射棱镜的第二出射面与所述第一双折射棱镜的入射面垂直；

其中，n_1o表示寻常光在所述第一双折射棱镜中的折射率，n_1e表示非常光在所述第一双折射棱镜中的折射率，n_2o表示寻常光在所述第二双折射棱镜中的折射率，n_2e表示非常光在所述第二双折射棱镜中的折射率；

还包括第三棱镜；

所述第三棱镜的入射面与所述第二双折射棱镜的第一出射面平行，且位于所述第二双折射棱镜的第一出射面的出射光的光路上；

所述第三棱镜的出射面的出射光的传播方向与所述光线的入射方向平行；

所述第三棱镜的出射面与所述第一双折射棱镜的入射面的夹角θ₃满足：

其中，n₃表示所述第三棱镜的折射率。

2.一种偏振分光棱镜组，其特征在于，包括：

第一双折射棱镜；

第二双折射棱镜，所述第二双折射棱镜的入射面与所述第一双折射棱镜的出射面直接接触，形成交界面；

一束光线以预设角度从所述第一双折射棱镜的入射面入射，经过所述交界面进入所述第二双折射棱镜，并分成偏振态相互垂直的两束偏振光，所述两束偏振光中的一束经过所述第二双折射棱镜的第一出射面出射，另一束在所述第二双折射棱镜的第一出射面发生全反射后经过所述第二双折射棱镜的第二出射面出射；其中，所述光线的入射方向与所述第一双折射棱镜的光轴方向垂直；

所述第一双折射棱镜和所述第二双折射棱镜均为正单轴晶体或均为负单轴晶体；

所述第一双折射棱镜的光轴方向与所述第二双折射棱镜的光轴方向垂直；所述光线经过所述交界面进入所述第二双折射棱镜，并分成第一偏振方向的寻常光和第二偏振方向的非常光，所述寻常光经过所述第二双折射棱镜的第一出射面出射，所述非常光在所述第二双折射棱镜的第一出射面发生全反射后经过所述第二双折射棱镜的第二出射面出射；

所述交界面与所述第一双折射棱镜的入射面的夹角θ₁满足：

所述第二双折射棱镜的第一出射面与所述交界面的夹角β₁满足：

其中，n_1o表示寻常光在所述第一双折射棱镜中的折射率，n_1e表示非常光在所述第一双折射棱镜中的折射率，n_2o表示寻常光在所述第二双折射棱镜中的折射率，n_2e表示非常光在所述第二双折射棱镜中的折射率。

3.根据权利要求2所述的偏振分光棱镜组，其特征在于，所述第二双折射棱镜的第二出射面的出射光方向与所述光线的入射方向垂直；

所述第二双折射棱镜的第二出射面与所述第二双折射棱镜的第一出射面的夹角β₂满足：。