[发明专利]一种有效介电常数评估测试方法及系统

权利要求书

1.一种有效介电常数评估测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、检测若干相同的阻抗测试板上阻抗的阻抗值；所述阻抗测试板的压合结构的参数是已知值，所述压合结构的参数包括压合结构中各半固化片层的含胶量；

S2、对各阻抗测试板做切片分析，分别测量阻抗测试板上阻抗的上线宽、下线宽、线厚、上层介质厚度、下层介质厚度；

S3、根据步骤S1和步骤S2测量所得的数据，使用阻抗模拟软件计算与各阻抗对应的有效介电常数；

S4、对步骤S3所得有效介电常数、对应阻抗的线宽、与对应阻抗相邻层的含胶量进行回归分析以拟合出关于Y、X₁、X₂、X₁²、X₂²、X₁X₂的多项式方程F(X)；所述Y为有效介电常数，X₂为线宽，X₁为含胶量，X₂²则为线宽的平方，X₁²则为含胶量的平方，X₁X₂则为含胶量与线宽之积；

S5、将板材的含胶量和板材上已制作/拟制作的线路的线宽代入所述多项式方程F(X)中，计算得到该板材的有效介电常数。

2.根据权利要求1所述的有效介电常数评估测试方法，其特征在于，步骤S4后还包括简化多项式方程的步骤，即将线宽X₂分别设为三个定值并分别代入步骤S4所述的多项式方程F(X)中，分别得到简化后的三个多项式方程F₁(X)、F₂(X)和F₃(X)；所述F₁(X)对应的线宽X₂小于4mil，所述F₂(X)对应的线宽X₂大于4mil且小于6mil，所述F₃(X)对应的线宽X₁大于6mil；

所述步骤S5中，根据板材上已制作/拟制作的线路的线宽从F₁(X)、F₂(X)和F₃(X)中选择多项式方程，将板材的含胶量代入所选择的多项式方程中，计算得到该板材的有效介电常数。

3.根据权利要求2所述的有效介电常数评估测试方法，其特征在于，所述F₁(X)对应的线宽X₂为3mil，所述F₂(X)对应的线宽X₂为5mil，所述F₃(X)对应的线宽X₁为7mil。

4.根据权利要求1所述的有效介电常数评估测试方法，其特征在于，步骤S4中，回归分析进行曲线拟合的相关指数R²≥0.85。

5.根据权利要求1所述的有效介电常数评估测试方法，其特征在于，所述阻抗模拟软件是Polar SI8000或Polar SI9000。

6.根据权利要求1-5任一项所述的有效介电常数评估测试方法，其特征在于，所述阻抗测试板为特性阻抗测试板或差分阻抗测试板，所述特性阻抗测试板上设有内层特性阻抗和外层特性阻抗，所述差分阻抗测试板上设有内层差分阻抗和外层差分阻抗。

7.根据权利要求6所述的有效介电常数评估测试方法，其特征在于，步骤S1中，所述阻抗测试板为差分阻抗测试板；步骤S2所述的切片分析中，还包括分别测量内层差分阻抗和外层差分阻抗中两条线路的线底间距。

8.根据权利要求7所述的有效介电常数评估测试方法，其特征在于，所述步骤S4中，对同一类阻抗的有效介电常数以及对应阻抗的线宽、与对应阻抗相邻层的含胶量进行回归分析以拟合出多项式方程F(X)。