[发明专利]一种太阳能电池单晶硅材料制备工艺在审
| 申请号： | 201811427078.6 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109306509A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张进 | 申请（专利权）人： | 江苏拓正茂源新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 徐州市淮海专利事务所 32205 | 代理人： | 胡亚辉 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅材料 太阳能电池 制备工艺 熔化 半导体性能 石墨加热器 真空反应腔 反应气体 石英坩埚 铸造装置 掺杂剂 反应腔 高频电 硅原料 零排放 冷却 凝固 节约 脱离 制作 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池单晶硅材料制备工艺，其特征在于，在包含有石墨加热器的方向凝固铸造装置中，向装有单晶硅材料的真空反应腔内通入反应气体，使用其内壁涂有含氮脱离涂层的石英坩埚熔化添加有适量锗的硅原料，在一定压力下，向反应腔内加上高频电，并加入一定浓度的掺杂剂，冷却熔化的原料，即可获得该太阳能电池单晶硅材料。
2.如权利要求1所述的一种太阳能电池单晶硅材料制备工艺，其特征在于，所述反应气体为以下一种或几种的混合气体：氮气、惰性气体、硝酸气体和碱金属氢氧化物气体。
3.如权利要求1所述的一种太阳能电池单晶硅材料制备工艺，其特征在于，所述反应腔内的气体压力为250Pa～280Pa，反应气体总流量为2800～3400ml/min。
4.如权利要求1所述的一种太阳能电池单晶硅材料制备工艺，其特征在于，所述反应腔内加上高频电的频率为12MHz～16MHz。。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池单晶硅材料制备工艺，其特征是：所述掺杂剂成分由以下重量组成：氮0.55～0.75份、碳0.1～0.4份、氧2.35～2.75份、锗1.2～1.5份。
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