[发明专利]一种基于石墨烯胶带的快速转移方法有效

专利信息
申请号: 201811427260.1 申请日: 2018-11-27
公开(公告)号: CN111217364B 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 赵沛;张学薇;郑浩然;张栩清;任钱诚;周垂颖;王宏涛 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: C01B32/194 分类号: C01B32/194
代理公司: 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 代理人: 杜放
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 石墨 胶带 快速 转移 方法
【权利要求书】:

1.一种基于石墨烯胶带的快速转移方法,包括以下步骤:

S1、配置胶带溶液,将胶带溶液滴在洁净平整的光滑表面,自然晾干形成胶带薄膜;光滑表面是表面粗糙度小的材料,其目的是得到表面粗糙度小的胶带薄膜;

S2、用涂装法石墨烯转移技术得到漂浮在刻蚀液表面的石墨烯薄膜;

S3、将胶带薄膜从光滑表面上取下,以胶带薄膜与光滑表面接触的面为工作面,将工作面贴到石墨烯薄膜上,得到石墨烯胶带;通过将石墨烯薄膜粘在工作面上,将石墨烯从刻蚀液中转移到胶带薄膜;

S4、将石墨烯胶带漂浮在去离子水表面,清洗2-3次,用于除去石墨烯胶带背面的离子杂质;

S5、对需要的目标基底进行表面清洁,准备转移石墨烯;

S6、 将石墨烯胶带从去离子水中取出,放置在目标基底上,使石墨烯胶带和目标基底完全贴合,石墨烯与目标基底接触;

S7、将石墨烯胶带和目标基底置于红外烤灯下,逐渐升温到60度,然后保持温度,加热使石墨烯胶带软化,进一步提高石墨烯胶带与目标基底的贴合度,同时高温可以使水分蒸发,加速转移;

S8、 待水分完全蒸发后,缓慢将胶带薄膜撕下,完成从胶带薄膜到目标基底的石墨烯转移。

2.如权利要求1所述的基于石墨烯胶带的快速转移方法,其特征在于:步骤S1中,胶带溶液为PMMA/苯甲醚溶液,其质量分数浓度为4%~8%。

3.如权利要求1所述的基于石墨烯胶带的快速转移方法,其特征在于:步骤S2中,刻蚀液采用浓度为1摩尔/升的三氯化铁、浓度为1摩尔/升硝酸铁或浓度为0. 1摩尔/升过硫酸铵。

4.如权利要求1所述的基于石墨烯胶带的快速转移方法,其特征在于:步骤S5中,石墨烯胶带储存在去离子水表面。

5.如权利要求1所述的基于石墨烯胶带的快速转移方法,其特征在于:步骤S6中,在使石墨烯胶带和目标基底完全贴合时,重物压在石墨烯胶带上,以使石墨烯与目标基底贴合。

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