[发明专利]柔性血氧传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种柔性血氧传感器的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：

提供一柔性衬底；

将红外光发射器、红光发射器及光电探测器的各膜层采用印刷工艺依次形成于所述柔性衬底上；

所述红外光发射器包括红外光发光层，所述红光发射器包括红光发光层，所述红外光发光层及所述红光发光层由分子式为A_xB_1-xPbI_yBr_3-y的有机无机杂化钙钛矿材料制成，其中0＜x＜1，还包括如下步骤：

制作所述红外光发光层及所述红光发光层，将A基团、B基团、PbI₂及PbBr₂混合溶于溶剂中，形成质量分数为5％-50％的前驱体溶液；

将所述前驱体溶液印刷至第一载流子传输层上；

将前述溶液加热至80-100℃，除去溶剂，得到厚度为20-100nm的所述红外光发光层及所述红光发光层；

在所述前驱体溶液中，PbI₂与PbBr₂之间的比例为4：1到10：1之间，A基团与B基团之间的比例为1：10到10：1之间，A和B加起来的摩尔数与PbI₂和PbBr₂加起来的摩尔数之间的比例为1：1到5：1之间。

2.根据权利要求1所述的柔性血氧传感器的制作方法，其特征在于：所述红外光发射器包括第一透明电极层、第一载流子传输层、第二载流子传输层及第一金属电极层，所述第一透明电极层、所述第一载流子传输层、所述红外光发光层、所述第二载流子传输层及所述第一金属电极层通过印刷工艺依次形成于所述柔性衬底上；所述红光发射器包括第二透明电极层、第三载流子传输层、第四载流子传输层及第二金属电极层，所述第二透明电极层、所述第三载流子传输层、所述红光发光层、所述第四载流子传输层及所述第二金属电极层通过印刷工艺依次形成于所述柔性衬底上；所述光电探测器包括吸光层、第三金属电极层及第四金属电极层，所述吸光层通过印刷工艺形成于柔性衬底上，所述第三金属电极层及所述第四金属电极层通过印刷工艺间隔设置于所述吸光层上。

3.如权利要求1所述的柔性血氧传感器的制作方法，其特征在于：所述红外发光层的发光峰位在700-720nm，所述红光发光层的发光峰位在620-650nm。

4.如权利要求1所述的柔性血氧传感器的制作方法，其特征在于：电子传输层为由氧化锌、氧化钛、氧化铟、镁掺氧化锌、铟掺氧化锌、1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯、[6,6]-苯基C71丁酸甲酯及[6,6]-苯基C61丁酸甲酯中一种或多种材质制成的电子传输层；空穴传输层为由PEDOT:PSS、氧化镍、氧化钼、氧化钒、聚[9-乙烯咔唑]、聚[9,9-二辛基芴-CO-N-(4-丁基苯基)二苯胺]及聚[N,N’-双(4-丁基苯基)-N,N’-双(苯基)-联苯胺]中一种或者几种的混合物制成的空穴传输层。