[发明专利]基板对位方法

说明书

本发明提供一种基板对位方法。该基板对位方法通过在位于光罩上的第一对位标识上预设一反光干扰识别区域，接着移动基板使位于基板上的第二对位标识至第一对位标识的下方，且该第二对位标识位于所述反光干扰识别区域的外部，图像传感器聚焦第一对位标识进行识别，在识别过程中可以避免第二对位标识的反光干扰，从而准确得到第一对位标识的位置，不需要修改对位设备结构，只需要对对位设备的对位逻辑进行变更即可有效避免基板上的第二对位标识的反光干扰影响对位的准确性，提高识别位于光罩上的第一对位标识的准确性和成功率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板对位方法。

背景技术

薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)是目前液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay，LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(Active Matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片(ColorFilter，CF)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线透射出来产生画面。

在基板的制作过程中，普遍使用接近式曝光机，曝光机使用过程中需将玻璃基板上的标识(Mark)和光罩上的标识进行对位，对位的主要方式是使用上方高亮度的灯源照射，依靠玻璃基板和光罩上Mark反光后显现的不同形态，在普通的制程要求中，一般光罩上的Mark为金属材料，高亮光照射后呈亮白色，玻璃基板上的Mark为非金属材料，高亮光照射后呈暗黑色，由于黑白形态特征明显，较为容易识别，在经过用于识别Mark的电荷耦合器件图像传感器(CCD)调整焦距识别时的不同清晰度，来进行Mark的对位。

现有技术中进行玻璃基板Mark与光罩Mark对位的步骤为：1、移动CCD至光罩Mark上方，2、移动玻璃基板Mark至光罩Mark正下方，3、光罩Mark和玻璃基板Mark在同一视窗，4、CCD聚焦光罩Mark进行识别，5、CCD聚焦玻璃基板Mark进行识别定位，6、综合两个Mark的位置进行计算；然而，随着面板技术的提升，基板制程当中出现了玻璃基板Mark也为金属材质，因此反光之后同样会出现亮白色，在进行两个Mark对位时，在同一视窗内因均呈现亮白色，在CCD聚焦光罩Mark时会受到下方玻璃基板Mark反光的影响，严重干扰到CCD的识别效果，造成识别失败，后续需要人员手动对位调整，这将严重影响产品的自动化生产制作。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板对位方法，有效避免基板上的第二对位标识的反光干扰影响对位的准确性，提高识别位于光罩上的第一对位标识的准确性和成功率。

为实现上述目的，本发明提供了一种基板对位方法，包括如下步骤：

步骤S1、移动图像传感器至位于光罩上的第一对位标识的上方，并在第一对位标识上预设一反光干扰识别区域；

步骤S2、移动基板使位于基板上的第二对位标识至光罩上的第一对位标识的下方，且该第二对位标识位于所述反光干扰识别区域的外部；

步骤S3、图像传感器聚焦第一对位标识进行识别，得到第一对位标识的位置；

步骤S4、移动基板使第二对位标识处于所述反光干扰识别区域的内部，图像传感器聚焦第二对位标识进行识别，得到第二对位标识的位置；

步骤S5、根据第一对位标识的位置与第二对位标识的位置将基板与光罩进行对位，使第二对位标识的正投影与第一对位标识的正投影重叠。