[发明专利]显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统及蒸镀掩膜板

说明书

一种显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统，包括︰坩埚，在所述坩埚周围设置有下冷却管，所述下冷却管内设置有冷却液以抑制所述坩埚散发的热；蒸镀掩膜板，设置在所述坩埚上方，所述蒸镀掩膜板内设置有掩膜冷却管，掩膜冷却管内设置有冷却液以用于对所述蒸镀掩膜板进行冷却；玻璃基板，设置在所述蒸镀掩膜板上方；以及磁板，设置在所述玻璃基板上方，以磁力磁吸所述蒸镀掩膜板以使所述玻璃基板被夹持固定在所述蒸镀掩膜板与所述磁板之间，所述磁板内设置有上冷却管，所述上冷却管内设置有冷却液以用于对所述磁板进行冷却。上述掩膜冷却管可有效对所述蒸镀掩膜板进行散热并且避免玻璃基板温度升高。

技术领域

本发明关于一种掩膜板冷却系统，尤其关于一种显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统及蒸镀掩膜板，所述冷却系统通过循环冷却液直接对蒸镀掩膜板进行冷却，提高了对蒸镀掩膜板和玻璃基板的冷却效率，能有效降低蒸镀工艺中因蒸镀掩膜板和玻璃基板的热膨胀引起的混色问题，故能显著提升有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示面板产品良率。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示面板产品具有轻薄、响应快、广视角、高对比度、可弯折等优点，因此逐渐成为显示主流面板，主要应用在手机、平板、电视等显示领域。

目前OLED显示面板OLED材料成膜主要通过蒸镀(Deposition)工艺来完成，即通过加热系统对装有OLED材料的坩埚加热使材料受热升华后经过喷嘴沉积到玻璃基板上。

图1为现有技术的OLED蒸镀工艺的装置结构示意图。现有技术的OLED蒸镀工艺使用的装置如下：坩埚91、设置在所述坩埚91上方的掩膜板94、设置在所述掩膜板94上方的玻璃基板95、以及设置在所述玻璃基板95上方的磁板96。所述磁板96以磁力吸附所述掩膜板94并使所述玻璃基板95被夹定在所述磁板96与所述掩膜板94之间。所述坩埚91周围设置有下冷却管92，并在所述下冷却管92中通入冷却液以抑制所述坩埚91散发的热。所述磁板96内设置有上冷却管97，并在所述上冷却管97中通入冷却液为所述磁板96进行散热。

当进行上述蒸镀工艺时，以蒸发源(或称加热源)911对盛载有OLED材料的坩埚91加热，使所述OLED材料受热升华后，由坩埚91顶部的喷嘴喷出并沉积到上方的玻璃基板95上。由于大多数OLED材料的升华温度是在400℃以上的高温，所述蒸发源911产生的余热会以热辐射的形式扩散到所述掩膜板94和所述玻璃基板95上，造成所述掩膜板94和所述玻璃基板95温度上升。

尽管在所述坩埚91以及所述磁板96上设置了冷却系统(所述下冷却管92及所述上冷却管97)，但是由于所述冷却系统的冷却能力有限，所述掩膜板94和所述玻璃基板95表面温度依然高于室温，温差导致所述掩膜板94和所述玻璃基板95受热膨胀变形，而所述掩膜板94和所述玻璃基板95的热膨胀系数不同，使得两者的膨胀量不同，会在蒸镀过程中造成混色问题。因此，OLED蒸镀工艺有必要对所述冷却系统进一步改善，以提升冷却系统对所述掩膜板94和所述玻璃基板95的冷却效率，从而降低掩膜板94和玻璃基板95温度，提高OLED显示面板产品的混色良率。

故，有必要提供一种显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统及蒸镀掩膜板，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容

有鉴于现有技术的有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)蒸镀工艺的冷却系统不足的缺点，本发明提出了一种显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统及蒸镀掩膜板。

本发明的主要目的在于提供一种显示面板蒸镀掩膜组件冷却系统，所述冷却系统通过循环冷却液直接对蒸镀掩膜板进行冷却，提高了对蒸镀掩膜板和玻璃基板的冷却效率，能有效降低蒸镀工艺中因蒸镀掩膜板和玻璃基板的热膨胀引起的混色问题，故能显著提升OLED显示面板产品良率。