[发明专利]超声波扫描系统以及用于对晶圆进行超声波扫描的方法

权利要求书

1.一种超声波扫描系统，其特征在于，包括：

承载台，所述承载台被配置为承载要被扫描的晶圆；

超声波探头，所述超声波探头被配置为向所述晶圆发射扫描超声波以执行扫描，并且被定位在距所述晶圆一基准距离处；

测距器，所述测距器被配置为测量所述超声波探头与所述晶圆之间的相对距离；以及

控制器，所述控制器从所述测距器接收所述相对距离；

其中，所述控制器被配置为基于所述基准距离与所述相对距离的差来调整所述超声波探头与所述晶圆之间的距离，使得所述扫描超声波的焦点位于所述晶圆的键合界面中，并且所述控制器还被配置为当所述扫描超声波的焦点位于所述晶圆的键合界面中并且检测到所述键合界面中的空洞时，基于所述相对距离更新所述基准距离。

2.如权利要求1所述的超声波扫描系统，其特征在于：

所述基准距离是使用所述测距器和所述超声波探头基于在所述晶圆的边缘处的键合界面中的空洞而确定的。

3.如权利要求1所述的超声波扫描系统，其特征在于：

所述基准距离是基于所述晶圆的预定厚度以及所述扫描超声波的预定焦点距离而确定的。

4.如权利要求1所述的超声波扫描系统，其特征在于：

所述测距器固定地定位在所述超声波探头的侧面。

5.如权利要求1所述的超声波扫描系统，其特征在于：

所述测距器至少包括第一测距器和第二测距器，所述第一测距器与第二测距器分别被定位在所述超声波探头的相对的两侧，并且

所述第一测距器被启用以确定第一相对距离，

所述第二测距器被启用以确定第二相对距离，

其中，基于所述第一相对距离和/或所述第二相对距离来确定所述相对距离。

6.如权利要求5所述的超声波扫描系统，其特征在于：

所述第一测距器被配置为当所述超声波探头的扫描方向为第一扫描方向时被启用以将第一相对距离确定为所述相对距离，其中第一测距器在第一扫描方向上超前于所述超声波探头；并且

所述第二测距器被配置为当所述超声波探头的扫描方向为第二扫描方向时被启用以将第二相对距离确定为所述相对距离，其中所述第二扫描方向与所述第一扫描方向相反，并且其中第二测距器在第二扫描方向上超前于所述超声波探头。

7.如权利要求6所述的超声波扫描系统，其特征在于，所述控制器还被配置为基于以下各项来执行所述调整：

所述基准距离与所述相对距离的差；

所启用的测距器在扫描方向上超前于所述超声波探头的距离；以及

所述超声波探头在扫描方向上的行进速度。

8.如权利要求1所述的超声波扫描系统，其特征在于，所述更新包括：

将所述相对距离作为更新后的基准距离；或者

将所述基准距离与所述相对距离的平均值作为更新后的基准距离。

9.如权利要求1所述的超声波扫描系统，其特征在于：

所述测距器使用激光、红外、或者超声波之一进行测量。

10.如权利要求1所述的超声波扫描系统，其特征在于：

仅当所述基准距离与所述相对距离的差不小于预定阈值时，执行所述调整。

11.一种用于对晶圆进行超声波扫描的方法，其特征在于，所述方法包括：

使用超声波探头向所述晶圆发射扫描超声波，所述超声波探头被定位在距所述晶圆一基准距离处；

测量所述超声波探头与所述晶圆之间的相对距离；

基于所述基准距离与所述相对距离的差，调整所述超声波探头与所述晶圆之间的距离，使得所述扫描超声波的焦点位于所述晶圆的键合界面中；以及

当所述扫描超声波的焦点位于所述晶圆的键合界面中并且检测到所述键合界面中的空洞时，基于所述相对距离更新所述基准距离。