[发明专利]液体处理装置

权利要求书

1.一种液体处理装置，具备：

筒状的处理槽，一个端部闭口且截面形状为圆形；

第一电极，配置于所述处理槽的中心轴上的一端侧且形状为棒状；

第二电极，配置于所述处理槽的另一端侧且由包含铜或铁的金属形成；

脉冲电源，将所述第一电极作为阳极，在所述第一电极与所述第二电极之间施加正的脉冲电压；

直流电源，将所述第二电极作为阳极，在所述第一电极与所述第二电极之间施加负的电压；和

液体导入口，通过从所述处理槽的圆形筒状的切线方向导入液体，从而使所述液体在所述处理槽内回旋，并在所述液体的回旋流中产生气相，所述脉冲电源所施加的脉冲电压的脉冲宽度大于100ns且小于3μs。

2.根据权利要求1所述的液体处理装置，其中，

所述液体处理装置具备：

过氧化氢浓度计，与所述处理槽的另一端侧连接，计测所述处理槽中处理后的处理液排出后存留的存留槽内的被处理液的过氧化氢浓度；

金属离子浓度计，计测所述存留槽内的所述被处理液的金属离子浓度；和

控制单元，按照所述过氧化氢浓度计以及所述金属离子浓度计的值，对所述脉冲电源的动作频率和所述直流电源所施加的电压进行控制。

3.根据权利要求1或2所述的液体处理装置，其中，

所述第一电极为棒状，所述第二电极为板状。