[发明专利]基板搬出装置

说明书

提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。基板搬出装置(1)具有：基板载置部(2)，其载置有在规定方向上被分割的基板；驱动部(400)，其使基板载置部(2)在水平位置与从水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部(300)，其按照每个分割单元搬出基板(F)。另外，基板搬出装置(1)的特征在于，其具有控制部(40)，控制部(40)在通过搬出部(300)搬出基板(F)的全部分割单元后，通过驱动部(400)使基板载置部在倾斜位置倾斜，使基板(F)的端材(R)从基板载置部(2)落下。

技术领域

本发明涉及用于搬出基板的基板搬出装置。

背景技术

玻璃基板等脆性材料基板根据最终产品的形态被切断成规定数量的分割单元。此时，与分割单元不同，还产生端材。在以下的专利文献1中记载了如下结构：在切断端材时预先利用卡盘构件捆住端材，在端材切断后，利用卡盘构件向弹射器的开口部移送端材并将其投入弹射器中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-250871号公报

发明内容

发明要解决的课题

在从基板生成分割单元的系统中，能够使用将被分割成各个分割单元的状态的基板暂时载置在基板载置部上、然后以规定数量向下游侧的装置搬出分割单元的装置。这里，在载置于基板载置部上的基板中，上游侧的分割工序中产生的端材有时未被去除而残留。因此，在全部分割单元被搬运到下游侧的装置的状态下，这些端材可能分散存在于基板载置部上。需要在下一个基板搬入前去除这种端材。在专利文献1所公开的结构中，在基板的分断动作时去除端材，因此，如上所述，无法直接应用于分割状态的基板暂时载置在基板载置部上的结构的装置。

鉴于该课题，本发明的目的在于，提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。

用于解决课题的手段

本发明的方式涉及基板搬出装置。该方式的基板搬出装置具有：基板载置部，其载置有基板；驱动部，其使所述基板载置部在水平位置与从所述水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部，其搬出所述基板。

在从基板载置部搬出基板后，新的基板被搬入基板载置部，但是，此时，需要成为在基板载置部上未放置任何内容的状态。根据本方式的基板搬出装置，如果通过驱动部使基板载置部在水平位置与倾斜位置之间移动，则能够使残留在基板载置部上的、例如切断基板时产生的端材沿着倾斜的基板载置部上落下。这样，能够去除残留在基板载置部上的内容。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板被分割成搬出对象和非搬出对象，所述基板搬出装置还具有控制部，该控制部在通过所述搬出部搬出所述搬出对象后，通过所述驱动部使所述基板载置部在所述倾斜位置倾斜，使所述非搬出对象从所述基板载置部落下。

根据该结构，在搬出基板后，通过使基板载置部倾斜，使残留在基板载置部上的非搬出对象落下，能够从基板载置部去除。“非搬出对象”例如意味着在将基板切断成多个部分时产生的端材。由此，能够高效地从基板载置部去除非搬出对象即端材(以下，“非搬出对象”称为“端材”。)。另外，如果在基板载置部的下方设置回收用的容器等，则还能够高效地回收端材。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板载置部构成为能够对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，所述基板搬出装置还具有压力赋予部，该压力赋予部用于对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，所述控制部以在使所述端材从所述基板载置部落下时对所述非搬出对象的下表面赋予正压的方式对压力赋予部进行控制。

这样，通过对端材的下表面赋予正压，端材容易从基板载置部分离，因此，当使基板载置部倾斜时，端材更加容易落下。由此，更加可靠且顺畅地使端材从基板载置部落下，能够高效地去除。