[发明专利]一种掩膜版、制造方法及设备在审
申请号: | 201811430512.6 | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN109491200A | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 柯于军;管林立;李龙;郭平 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66;G03F1/64 |
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地址: | 210033 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜版 遮光区 第二基板 第一基板 多个阵列 框胶 排布 制造 紫外光固化装置 相对设置 工艺流程 保护膜 上表面 下表面 合板 可用 治具 机型 | ||
本发明提出一种掩膜版、制造方法及设备,显示治具的技术领域,包括相对设置的第一基板和第二基板,第一基板的下表面上设置有多个阵列排布的第一遮光区,第二基板的上表面设置有多个阵列排布的第二遮光区,第一遮光区和第二遮光区的形状相同且位置一一对应;其中,掩膜版还包括有框胶,第一基板和第二基板通过框胶连接。本发明的掩膜版、制造方法及设备,可用于紫外光固化装置,通过使用两片同机型的掩膜版,经过相关工艺流程,使之形成合板的掩膜版,有效的保护膜面。
技术领域
本发明属于显示治具的技术领域,具体涉及一种掩膜版、制造方法及设备。
技术背景
掩膜版主要应用于紫外光固化装置在UV光照射玻璃基板框胶时,对玻璃基板产品可视区进行阻挡UV光,以避免UV光对产品可视区进行直接照射。
现有掩膜版在紫外光固化装置内的安装方式有两种:一种掩膜版膜面朝上,另一种是掩膜版膜面朝下。
由于掩膜版膜面耐磨性很弱,膜面朝下安装前,首先会进行机械对位,膜面会与工作台之间相对摩擦,如果有小颗粒异物存在则易被划伤。生产过种中,如果工作台上的玻璃基板上有小颗粒异物,由于玻璃基板与掩膜版之间的间隙较小,不考虑掩膜版弯曲,当前间隙为0.5um,也会导致掩膜版膜面刮伤。
由于掩膜版膜面在素玻璃上粘附性较差,膜面朝上安装时,在石英条吸附真空80Kpa的吸力下,真空槽附近的膜在吸力下会收缩而导致剥离和脱落。
膜面刮伤导致的产品异常,在贴合后宏观检查机是无法用目视检出,必须在模组的点灯机台下才能检出,且均为终C品报废。
发明内容
针对现有技术存在的问题,本发明提供一种掩膜版、制造方法及设备,有效地杜绝掩膜版膜面刮伤、降低产品品质风险系数,从不可控到有效地控制。
本发明提供的技术方案如下:
一种掩膜版,包括相对设置的第一基板和第二基板,所述第一基板的下表面上设置有多个阵列排布的第一遮光区,所述第二基板的上表面设置有多个阵列排布的第二遮光区,所述第一遮光区和第二遮光区的形状相同且位置一一对应;其中,所述掩膜版还包括有框胶,所述第一基板和第二基板通过所述框胶连接。
优选地,所述第一基板和第二基板采用相同的材料。
优选地,所述框胶设置在第一遮光区和第二遮光区内。
优选地,所述框胶由一个或多个框胶组成。
优选地,所述框胶包括第一框胶和第二框胶,所述第二框胶位于第一框胶内部。
优选地,所述框胶嵌入第一遮光区和/或第二遮光区。
一种掩膜版的制造方法,该方法包括如下步骤:
S1、所述第一基板上设置第一遮光区,形成第一掩膜版;
S2、所述第二基板上设置第二遮光区,形成第二掩膜版;
S3、所述第一掩膜版和第二掩膜版通过框胶连接并压合。
优选地,在所述第一掩膜版和第二掩膜版中的一个上涂布框胶。
优选地,所述第一掩膜版通过虚拟彩膜基板的信息制成,所述第二掩膜版通过虚拟阵列基板的信息制成。
一种制造掩膜版的设备,所述设备包括框胶涂布机、真空贴合机以及框胶固化炉。
与现有技术相比,本发明的掩膜版、制造方法及设备,通过设置双层掩膜版,有效地保护好掩膜版的遮光区,杜绝生产过程的掩膜版膜面刮伤,从而导致产品的异常报废。
附图说明
下面将以明确易懂的方式,结合附图说明优选实施方式,对本发明予以进一步说明。
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