[发明专利]一种掩膜版、制造方法及设备在审

专利信息
申请号: 201811430512.6 申请日: 2018-11-28
公开(公告)号: CN109491200A 公开(公告)日: 2019-03-19
发明(设计)人: 柯于军;管林立;李龙;郭平 申请(专利权)人: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
主分类号: G03F1/66 分类号: G03F1/66;G03F1/64
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210033 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 掩膜版 遮光区 第二基板 第一基板 多个阵列 框胶 排布 制造 紫外光固化装置 相对设置 工艺流程 保护膜 上表面 下表面 合板 可用 治具 机型
【说明书】:

发明提出一种掩膜版、制造方法及设备,显示治具的技术领域,包括相对设置的第一基板和第二基板,第一基板的下表面上设置有多个阵列排布的第一遮光区,第二基板的上表面设置有多个阵列排布的第二遮光区,第一遮光区和第二遮光区的形状相同且位置一一对应;其中,掩膜版还包括有框胶,第一基板和第二基板通过框胶连接。本发明的掩膜版、制造方法及设备,可用于紫外光固化装置,通过使用两片同机型的掩膜版,经过相关工艺流程,使之形成合板的掩膜版,有效的保护膜面。

技术领域

本发明属于显示治具的技术领域,具体涉及一种掩膜版、制造方法及设备。

技术背景

掩膜版主要应用于紫外光固化装置在UV光照射玻璃基板框胶时,对玻璃基板产品可视区进行阻挡UV光,以避免UV光对产品可视区进行直接照射。

现有掩膜版在紫外光固化装置内的安装方式有两种:一种掩膜版膜面朝上,另一种是掩膜版膜面朝下。

由于掩膜版膜面耐磨性很弱,膜面朝下安装前,首先会进行机械对位,膜面会与工作台之间相对摩擦,如果有小颗粒异物存在则易被划伤。生产过种中,如果工作台上的玻璃基板上有小颗粒异物,由于玻璃基板与掩膜版之间的间隙较小,不考虑掩膜版弯曲,当前间隙为0.5um,也会导致掩膜版膜面刮伤。

由于掩膜版膜面在素玻璃上粘附性较差,膜面朝上安装时,在石英条吸附真空80Kpa的吸力下,真空槽附近的膜在吸力下会收缩而导致剥离和脱落。

膜面刮伤导致的产品异常,在贴合后宏观检查机是无法用目视检出,必须在模组的点灯机台下才能检出,且均为终C品报废。

发明内容

针对现有技术存在的问题,本发明提供一种掩膜版、制造方法及设备,有效地杜绝掩膜版膜面刮伤、降低产品品质风险系数,从不可控到有效地控制。

本发明提供的技术方案如下:

一种掩膜版,包括相对设置的第一基板和第二基板,所述第一基板的下表面上设置有多个阵列排布的第一遮光区,所述第二基板的上表面设置有多个阵列排布的第二遮光区,所述第一遮光区和第二遮光区的形状相同且位置一一对应;其中,所述掩膜版还包括有框胶,所述第一基板和第二基板通过所述框胶连接。

优选地,所述第一基板和第二基板采用相同的材料。

优选地,所述框胶设置在第一遮光区和第二遮光区内。

优选地,所述框胶由一个或多个框胶组成。

优选地,所述框胶包括第一框胶和第二框胶,所述第二框胶位于第一框胶内部。

优选地,所述框胶嵌入第一遮光区和/或第二遮光区。

一种掩膜版的制造方法,该方法包括如下步骤:

S1、所述第一基板上设置第一遮光区,形成第一掩膜版;

S2、所述第二基板上设置第二遮光区,形成第二掩膜版;

S3、所述第一掩膜版和第二掩膜版通过框胶连接并压合。

优选地,在所述第一掩膜版和第二掩膜版中的一个上涂布框胶。

优选地,所述第一掩膜版通过虚拟彩膜基板的信息制成,所述第二掩膜版通过虚拟阵列基板的信息制成。

一种制造掩膜版的设备,所述设备包括框胶涂布机、真空贴合机以及框胶固化炉。

与现有技术相比,本发明的掩膜版、制造方法及设备,通过设置双层掩膜版,有效地保护好掩膜版的遮光区,杜绝生产过程的掩膜版膜面刮伤,从而导致产品的异常报废。

附图说明

下面将以明确易懂的方式,结合附图说明优选实施方式,对本发明予以进一步说明。

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