[发明专利]一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法及装置有效

专利信息
申请号: 201811432865.X 申请日: 2018-11-28
公开(公告)号: CN109443260B 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 全海洋;侯溪;胡小川;宋伟红;吴高峰;伍凡;李声 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G01B13/24 分类号: G01B13/24;G01M11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 基于 液体 浮力 光学 平板 测量方法 装置
【权利要求书】:

1.一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法,其特征在于,该方法利用的装置包括被测平板(1)、液槽(2)、支撑装置(3)、溶液(4)、标准平板(5)、干涉仪测量系统(6),该方法利用密度可调的溶液(4)对浸入其中的被测平板(1)产生大小可控的浮力,经过支撑装置(3)后部分抵消被测平板自重引起的变形,被测平板(1)上表面与标准平板(5)下表面形成一组液体腔,通过干涉仪测量系统(6)测量液体腔进而获得被测平板(1)在不同重力载荷下的表面面形,最后通过计算机处理得到被测平板(1)上表面的零重力面形和全重力支撑条件下的重力变形,测量方法的具体步骤如下:

步骤1:设计合适的液槽(2),配置溶液(4)使其密度为ρl,溶液密度小于被测平板(1)的密度ρg,被测平板体积为Vg,则浸没于液体中的被测平板在液体中的残余重力为ρggVglgVg,于是被测平板在残余重力作用下稳定落在支撑装置(3)上;

步骤2:干涉仪测量系统(6)置于被测平板(1)的正上方,将标准平板(5)安装在干涉仪测量系统和被测平板之间,使得标准平板上表面在空气中,下表面在液体中与被测平板上表面构成干涉腔,调整干涉腔使得干涉条纹为零条纹;

步骤3:干涉仪测量系统测量被测平板整个上表面的面形,去除面形数据中的平移像差和倾斜像差,同时去除提前通过绝对标定方法标定出的干涉仪系统误差;

步骤4:保持干涉检测系统的参数及各部件相对位置不变,改变溶液(4)的密度,干涉仪测量获得被测平板的被测面在不同残余重力作用下的面形数据;

步骤5:由步骤2至步骤4检测过程得到多种溶液密度即多种残余重力作用下的面形数据,对多个面形数据进行数据处理得到待测表面的零重力面形和重力变形;

该方法所用的液槽(2)尺寸根据被测平板尺寸设计,同时避免表面张力的影响,液槽选择热传导性强、温度均匀性好的材料,采用铝材料或透明的聚甲醛塑料;

该方法所用的溶液(4)通过稀释的方法来改变其密度,进而控制光学元件所受残余重力的大小,实现对光学元件的虚拟分层,溶液采用偏钨酸锂或偏钨酸钠;

所述标准平板(5),其下表面浸没于溶液(4)中,其厚度足够大,不受重力变形影响,其面形通过绝对检测方法提前标定出来;

所述的干涉仪测量系统(6),采用波长移相技术实现对光学平板的面形进行检测。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所,未经中国科学院光电技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811432865.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top