[发明专利]一种单晶硅片成品存放架在审
申请号: | 201811434643.1 | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN109333487A | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 周伟平 | 申请(专利权)人: | 江苏晶成光学有限公司 |
主分类号: | B25H3/04 | 分类号: | B25H3/04 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 叶培辉 |
地址: | 221700 江苏省徐州市丰*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 存放架 单晶硅片 圆弧形结构 液压柱 支撑板 底座 隔板 上端固定 升降调整 支撑稳定 挡板 上端面 上端 内凹 收放 架设 观察 | ||
1.一种单晶硅片成品存放架,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上端固定连接设有液压柱(2),所述液压柱(2)的上端连接设有支撑板(3),所述支撑板(3)的上端面连接设有存放架(4),所述存放架(4)的一侧设有挡板(5),所述存放架(4)设为J形,所述存放架(4)的中部设为弯曲内凹的圆弧形结构(6),所述圆弧形结构(6)的一侧设有隔板(7)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片成品存放架,其特征在于:所述液压柱(2)的数量至少设为三个,并且按照底座(1)的上端面均匀分布。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片成品存放架,其特征在于:所述圆弧形结构(6)的底部设有轴向的凹槽(8)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片成品存放架,其特征在于:所述圆弧形结构(6)远离所述隔板(7)的一侧边上设有长方形通槽(9)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片成品存放架,其特征在于:所述挡板(5)上设有用于加持的圆形通孔(10)。
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