[发明专利]一种光衰减器以及光衰减器的调节方法

说明书

本发明公开了一种光衰减器以及光衰减器的调节方法，该光衰减器包括调制光波导，调制光波导上设置有至少两个电极回路，电极回路包括加热电极；位于同一个调制光波导上的加热电极连接同一个电压控制线，位于同一个调制光波导上的加热电极连接同一个接地线。本发明在调制光波导上设置至少两个电极回路，在实际使用过程中，当某个电极回路损坏时，可以通过其他电极回路进行加热，调节光衰减器的衰减量，大大降低器件失效风险，有利于提高光衰减器的良率，提高产品可靠性，延长产品的使用寿命。而且，光衰减器的调节范围不会受到影响，通过改变电压控制信号的大小，同样能够使得光衰减器的衰减量满足实际的需求。

技术领域

本发明属于光通信领域，更具体地，涉及一种光衰减器以及光衰减器的调节方法。

背景技术

在光波导芯片领域，通过热光效应实现光功率的衰减时，一般是在平面光波导PLC(Planar Lightwave Circuit，简写为PLC)的上包层上沉积加热电极，通过施加电压使加热电极发热，将热量传递到波导芯层，实现波导芯层有效折射率的变化来实现光功率的衰减。例如，基于马赫曾德干涉仪(Mach-Zehnder Interferometer，简写为MZI)结构的可调光衰减器VOA(Variable Optical Attenuation，简写为VOA)。

目前，可调光衰减器的加热电极结构如图1所示，在调制光波导上设置一根长条形加热电极，加热电极两端通过导电电极分别接电源正极(V+)和负极(V-)形成一个串联回路。由于调制光波导上只设置了一个加热电极串联回路，在实际芯片制作时，当加热电极和导电电极之一或者任意组合发生断裂和破损，将导致整个芯片不合格，从而降低单个晶圆芯片的良率，致使芯片制作成本增加。另外，在器件正常工作过程中，当加热电极和导电电极之一或者任意组合发生断路，会致使整个串联回路不通，这将增加器件失效风险，降低器件使用寿命及可靠性。

鉴于此，克服该现有技术所存在的缺陷是本技术领域亟待解决的问题。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种光衰减器以及光衰减器的调节方法，其目的在于在光衰减器的调制光波导上设置至少两个电极回路，在实际使用过程中，当某个电极回路损坏时，可以通过其他电极回路进行加热，调节光衰减器的衰减量，大大降低器件失效风险，有利于提高光衰减器的良率，提高产品可靠性，延长产品的使用寿命，由此解决调制光波导上只设置了一个加热电极串联回路，当加热电极和导电电极之一或者任意组合发生断裂和破损时，将导致光衰减器损坏，增加了器件失效风险，导致光衰减器的良率以及可靠性均较低的技术问题。

为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种光衰减器，所述光衰减器包括：调制光波导，所述调制光波导上设置有至少两个电极回路10，所述电极回路10包括加热电极100；

位于同一个调制光波导上的加热电极100连接同一个电压控制线，位于同一个调制光波导上的加热电极100连接同一个接地线。

优选地，所述调制光波导包括上调制光波导12和下调制光波导13；

所述上调制光波导12上设置有至少两个电极回路10和/或所述下调制光波导13上设置有至少两个电极回路10。

优选地，位于同一个调制光波导上的加热电极100的电阻值相同，以保证每个加热电极(100)对应的温度改变量相同。

按照本发明的另一方面，提供了一种光衰减器，所述光衰减器包括调制光波导和至少一个温度传感器15，所述温度传感器15邻近所述调制光波导设置；

所述调制光波导上设置有至少两个电极回路10，所述电极回路10包括加热电极100；

所述加热电极100用于接收电压控制信号，调节所述调制光波导的温度，以调节所述光衰减器的衰减量；