[发明专利]流体压致动器的动作检测装置

说明书

提供一种流体压致动器的动作检测装置，其以廉价且简单的结构进行流体压致动器的动作检测。流体压致动器的动作检测装置具备：第1压力检测部，其检测第1压力作用室的压力；第2压力检测部，其检测所述第2压力作用室的压力；速度变化量计算部，其对所述第1压力检测部或者所述第2压力检测部的检测压力进行微分而计算出所述移动部件的速度变化量，所述第1压力检测部或者所述第2压力检测部的检测压力通过所述第1流量调整部或者所述第2流量调整部对流体流量的调整而变化；以及移位量计算部，其对由所述速度变化量计算部计算出的所述移动部件的速度变化量进行积分而计算出所述移动部件的移位量。

技术领域

本发明涉及流体压致动器的动作检测装置。

背景技术

一般来说，作为流体压致动器的气压缸在缸室内收纳有作为移动部件的活塞，缸室内由活塞划定为第1压力作用室和第2压力作用室。另外，气压缸具有与第1压力作用室连通的第1给排口和与第2压力作用室连通的第2给排口。在第1给排口连接有第1给排流路，第1给排流路针对第1给排口供给排出作为流体的空气。另外，在第2给排口连接有第2给排流路，第2给排流路针对第2给排口供给排出空气。

在第1给排流路及第2给排流路连接有切换阀。切换阀能够切换到第1切换状态，在该第1切换状态下，将来自作为流体供给源的空气供给源的空气经由第1给排流路及第1给排口向第1压力作用室供给，并且将第2压力作用室的空气经由第2给排口及第2给排流路向大气排出。另外，切换阀能够切换到第2切换状态，在第2切换状态下，将来自空气供给源的空气经由第2给排流路及第2给排口向第2压力作用室供给，并且将第1压力作用室的空气经由第1给排口及第1给排流路向大气排出。并且，通过切换阀切换到第1切换状态，从而活塞从位于活塞的移动方向上的第1冲程末端朝向第2冲程末端在缸室内进行直线移动。另外，通过切换阀切换到第2切换状态，从而活塞从第2冲程末端朝向第1冲程末端在缸室内进行直线移动。

另外，作为对这样的气压缸的活塞的移动速度进行控制的方式，一般已知例如入口节流式控制方式及出口节流式控制方式：其使用分别设置于第1给排流路及第2给排流路的第1流量调整部及第2流量调整部。

在入口节流式控制方式中，例如在切换阀切换到第1切换状态的情况下，利用第1流量调整部对将经由第1给排流路及第1给排口向第1压力作用室供给的空气的流量进行调整，从而对活塞的从第1冲程末端朝向第2冲程末端的移动速度进行控制。另外，例如在切换阀切换到第2切换状态的情况下，利用第2流量调整部对经由第2给排流路及第2给排口向第2压力作用室供给的空气的流量进行调整，从而对活塞的从第2冲程末端朝向第1冲程末端的移动速度进行控制。

在出口节流式控制方式中，例如在切换阀切换到第1切换状态的情况下，利用第2流量调整部对从第2压力作用室经由第2给排口及第2给排流路向大气排出的空气的流量进行调整，从而对活塞的从第1冲程末端朝向第2冲程末端的移动速度进行控制。另外，例如在切换阀切换到第2切换状态的情况下，利用第1流量调整部对从第1压力作用室经由第1给排口及第1给排流路向大气排出的空气的流量进行调整，从而对活塞的从第2冲程末端朝向第1冲程末端的移动速度进行控制。

这样，在气压缸中采用入口节流式控制方式或者出口节流式控制方式的任一个，使用第1流量调整部及第2流量调整部进行空气流量的调整，从而活塞以预先设定的移动速度在缸室内进行直线移动。

但是，在气压缸中，在活塞在第1冲程末端与第2冲程末端之间移动的期间，有时会产生什么异常，从而活塞的移动速度异常变化。为了进行这样的气压缸的动作检测，例如在日本特开平9-329409号公报中使用磁致伸缩式传感器。磁致伸缩式传感器能够将在缸室内进行直线移动的活塞的位置连续地检测出。因此，通过使用磁致伸缩式传感器，能够进行如活塞的移动速度异常变化的、气压缸的动作检测。

发明内容

发明要解决的课题