[发明专利]平面铟靶材机加工方法

权利要求书

1.一种平面铟靶材机加工方法，其特征在于：包括如下步骤：

A、改装机床：将普通磨床改装成专门用于加工平面铟靶材的磨切机床，其中将普通磨床的永磁工作台改装为倒T型的工作台；

B、制作磨切刀具：将磨切刀具制成圆盘形的切割片，切割片由金属基体和切割刀刃构成，金属基体材料是钢芯，切割刀刃可是树脂结合剂、金属结合剂中任一种；磨切刀具直径为380mm～450mm，切割刀刃的厚度为2.5mm～3.5mm，金属基体的厚度小于切割刀刃的厚度；

C、加工准备：将待加工的平面铟靶材放置在磨切机床的工作台上固定，平面铟靶材的形状为矩形，单边最大尺寸为1m,设定磨切机床工作台带动平面铟靶材移动的进给速度为10mm/min～60mm/min，设定磨切刀具的线速度为20m/s～50m/s，磨切机床工作台带动平面铟靶材移动进给；

D、加工靶材：启动电机，磨切刀具旋转，磨切平面铟靶材的单侧面，然后移动磨切机床工作台带动平面铟靶材移动，切削对侧面，然后松开靶材，同样步骤，固定装夹平面铟靶材，加工另一组侧面，加工后平面铟靶材尺寸公差控制在±0.2mm范围内，表面粗糙度Ra0.8，加工表面无明显的切割痕，完成靶材的磨切加工。

2.根据权利要求1所述的磨切刀具，其特征在于：步骤B中的金属基体材料钢芯选弹簧钢65Mn，磨切刀具的切割刀刃树脂结合剂由结合剂聚酰亚胺树脂、切割材料金刚石及其它辅助材料组成。

3.根据权利要求1所述的平面铟靶材，其特征在于：平面铟靶材可以是氧化铟锡靶材或铟镓锌氧化物靶材或氧化铟钛靶材等其它铟靶材的任一种。