[发明专利]一种准分子激光器电极结构及准分子激光器在审
| 申请号： | 201811439648.3 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109411996A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 沙鹏飞;杨军红;熊光亮;祝桂鹏;陈刚;李祖友;贺跃坡;刘海东;李一鸣;刘斌;冯泽斌;韩晓泉 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/038 | 分类号： | H01S3/038 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 准分子激光器 阳极 激光器 电极结构 放电 放电区间 间距增大 控制电极 使用寿命 输出性能 阳极消耗 运行成本 注入能量 最佳功率 高效率 可调的 电极 抵消 电源 激光 保证 受损 输出 节约 维修 研究 | ||
1.一种准分子激光器电极结构，其特征在于，包括阳极、阴极、用于支撑所述阳极的导电支撑结构、用于支撑所述阴极的绝缘件、腔壁、所述绝缘件设置在所述腔壁上，所述阴极和所述阳极相对设置，所述阴极与所述腔壁具有绝缘间隔，所述导电支撑结构与所述腔壁电性连接，所述阳极具有安装座，所述安装座与所述导电支撑结构采用面面贴合的方式连接，通过面面之间相对滑动调整所述安装座与所述导电支撑结构之间的位置，进而完成所述阳极和所述阴极之间的间隙距离。
2.根据权利要求1所述的准分子激光器电极结构，其特征在于，所述绝缘件采用T型结构，所述T型结构的底部与所述腔壁相连，所述阴极设置在所述T型结构的顶部。
3.根据权利要求1所述的准分子激光器电极结构，其特征在于，所述导电支撑结构具有第一竖直面，所述安装座上对应设有第二竖直面，所述第一竖直面和所述第二竖直面面面贴合。
4.根据权利要求3所述的准分子激光器电极结构，其特征在于，还包括第一螺栓，所述安装座沿水平方向贯通设置第一腰型孔，所述第一腰型孔的最宽直径沿竖直方向设置，所述导电支撑结构的第一竖直面上沿水平方向设有第一安装孔，所述第一螺栓通过所述第一腰型孔和所述第一安装孔将所述安装座可拆卸地安装在所述导电支撑结构上。
5.根据权利要求3或4所述的准分子激光器电极结构，其特征在于，所述导电支撑结构具有第一斜面，所述安装座上对应设有第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面面面贴合。
6.根据权利要求5所述的准分子激光器电极结构，其特征在于，还包括第二螺栓和第三螺栓，所述导电支撑结构沿垂直所述第一斜面的方向贯通设置第二腰型孔，所述第二腰型孔的最宽直径沿所述第一斜面的倾斜方向设置，所述安装座上沿第一斜面的垂直方向设有第二安装孔，所述第二螺栓通过所述第二腰型孔和所述第二安装孔将所述安装座可拆卸地安装在所述导电支撑结构上，所述导电支撑结构通过第三螺栓安装在所述腔壁上。
7.根据权利要求1所述的准分子激光器电极结构，其特征在于，所述阳极的放电端为平面。
8.根据权利要求1所述的准分子激光器电极结构，其特征在于，所述绝缘件采用绝缘陶瓷。
9.根据权利要求5所述的准分子激光器电极结构，其特征在于，所述第一竖直面和所述第一斜面之间的夹角为30度。
10.一种准分子激光器，其特征在于，所述准分子激光器具有如权利要求1至9中任一项所述的准分子激光器电极结构。
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