[发明专利]一种高压线路传输装置

说明书

本发明公开一种高压线路传输装置，包括旋转接头定子(1)、旋转接头转子(2)、高压线路(3)、密封体转子(4)、密封体定子(5)、静电卡盘支座(6)、高压插针座(9)、高压插针(10)、高压线引线槽(11)和密封槽(12)，密封体转子(4)为中空结构，高压线路(3)通过旋转接头的转子(2)，从密封体转子(4)和密封体定子(5)中穿过引入静电卡盘支座(6)后，经由高压引线槽(11)连接固定在高压插针(10)上，高压插针(10)通过螺纹固定安装在高压插针座(9)上。本发明易于装配维护，并且高压线路的布局更加合理，能够有效减少设备异常情况发生。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种高压线路传输装置。

背景技术

静电卡盘被广泛应用于半导体加工、微电子制造、LED生产等领域，是半导体设备中常用的一种吸附和解吸附晶圆的装置。上述加工生产过程都在腔室的真空环境中进行，需要两路高压线路为其提供电压，且接线插针最好处于大气环境中，不仅有利于后期维护还能有效降低高压线路的放电现象。

在新型离子束刻蚀设备中，从大气环境同时传输至真空环境的除两路高压线路以外，还有三路气和两路水，因此在设计上述电、气、水路传输过程中，需要单独引出两路高压线路，并保证线路及其同静电卡盘相连接的插针都处在大气环境中，插针需要设计专门的绝缘座，方便插针固定和对地绝缘。另外，离子束刻蚀设备的电极(静电卡盘)在工艺过程中需要一直旋转着，这对高压线路传输及其装配操作性都有较高的要求。目前市场上离子束刻蚀使用的高压线路传输，多数处于半真空状态，直接用金属杆件连接，使用时可能会出线接触不良，且装配和后期维护相对比较麻烦。

发明内容

为了解决上述问题，本发明公开一种高压线路传输装置，包括：旋转接头定子、旋转接头转子、高压线路、密封体定子、密封体转子、静电卡盘支座、高压插针座、高压插针、高压线引线槽和密封槽，所述旋转接头转子安装于所述旋转接头定子上，所述旋转接头转子与所述密封体转子相连接，所述密封体定子安装于所述密封体转子上，所述静电卡盘支座安装于所述密封体转子上，所述高压插针座和所述高压线引线槽设置在所述静电卡盘支座上，所述高压插针固定安装在所述高压插针座上，其中，所述密封体转子为中空结构，所述高压线路通过所述旋转接头的转子，从密封体转子和密封体定子中穿过引入所述静电卡盘支座后，经由高压引线槽连接固定在高压插针上。

本发明的高压线路传输装置中，优选为，还设置有水气路通道，分布在所述高压线路通道的周边，并与所述高压线路通道分离。

本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述高压线路由外部固定输出转化为旋转输出，再穿过所述密封体转子和密封体定子连接到高压插针上，整个所述高压线路的传输通道均处在大气环境下。

本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述高压线路包覆有绝缘层和塑料套管。

本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述塑料套管采用聚四氟乙烯材质。

本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述高压插针座采用绝缘塑料。

本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述绝缘塑料为聚醚醚酮。

本发明的高压线路传输装置中，优选为，装配时，将静电卡盘支座上的高压插针接入静电卡盘的对插接头。

本发明的高压线路传输装置中，优选为，所述密封槽中放置有密封圈，所述密封圈的表面同所述静电卡盘的下表面密封，将所述高压线路的传输通道隔离在真空外。

附图说明

图1是一种高压线路传输装置的剖面结构示意图。

图2是高压线路传输装置的立体结构示意图。

图3是高压线路传输装置与静电卡盘装配后的剖面结构示意图。

图中：