[发明专利]一种用于光纤制造的在线实时气体纯度检测器在审

专利信息
申请号: 201811440545.9 申请日: 2018-11-29
公开(公告)号: CN109387541A 公开(公告)日: 2019-02-26
发明(设计)人: 李娟;李涛;黄华 申请(专利权)人: 上海仪电分析仪器有限公司
主分类号: G01N25/20 分类号: G01N25/20
代理公司: 上海九泽律师事务所 31337 代理人: 周云
地址: 200233 上海市徐汇*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 电阻 检测器 电路板部件 热导检测器 光纤制造 气体纯度 惠斯顿电桥 电桥 热导 气体检测技术 成本低特点 恒流源电路 报警电路 参考气体 放大电路 接线端子 气体流道 密封垫 盖板 检测 底座 流道 测量 体内 驱动
【权利要求书】:

1.一种用于光纤制造的在线实时气体纯度检测器,由热导检测部件(1),电路板部件(2),壳体(3)及盖板(4)构成,其特征在于,所述热导检测部件(1)和电路板部件(2)位于壳体(3)内;所述电路板部件(2)由恒流源经惠思顿电桥(2.1)与放大电路及报警电路连接组成。

2.如权利要求1所述的一种在线实时气体纯度检测器,其特征在于,所述热导检测部件(1)包括电桥底座(1.1),接线端子A1、A2、B、C1、C2、D,气体流道(M1),气路底座(1.2)、气体流道M2,进出气管(1.3、1.4、1.5、1.6)及密封垫(1.7)和组成惠思顿电桥的四组电阻R1、R2、R3、R4。

3.如权利要求1所述的一种在线实时气体纯度检测器,其特征在于,所述壳体(3)采用铸铝加工制作;

所述气体流道M1采用氧化硅涂层工艺;

所述电桥底座(1.1)为不锈钢材料制作;

所述底座,接线端子A1、A2、B、C1、C2、D与电桥底座(1.1)之间采用熔融石英玻璃工艺熔接;

所述气路底座(1.2)采用不锈钢材料制作;

所述气体流道M2采用氧化硅涂层工艺;

所述密封垫(1.7)为PEEK材质。

4.如权利要求1所述的一种在线实时气体纯度检测器,其特征在于,所述惠思顿电桥(2.1),由第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3、第四电阻R4连接组成;

其中,第一电阻R1、第三电阻R3位于热导检测部件(1)的测量气体流道中,第二电阻R2、第四电阻R4位于热导检测部件(1)的参考气体流道中。

5.如权利要求4所述的一种在线实时气体纯度检测器,其特征在于,所述第一电阻R1、第三电阻R3、第二电阻R2、第四电阻R4为高精密度热敏电阻。

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