[发明专利]一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜

说明书

本发明公开一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜，包括柔性基底，柔性基底顶面依次层叠有预制导电层、第一透明导电膜层、高透减反层、超导层以及第二透明导电膜层；预制导电层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜；第一透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜；高透减反层为单分散SiO₂小球薄膜；超导层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜；第二透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜；该薄膜具有附着力强、成本低、透过率高、电阻低且性能稳定的特点。

技术领域

本发明涉及透明导电薄膜技术领域，具体是一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜。

背景技术

柔性显示蓬勃发展，因此柔性透明导电薄膜吸引了很多的注意力。典型的用途包括，柔性电子产品、柔性透明有机太阳能电池、大尺寸柔性平板显示、节能红外反射膜、智能变色窗等，对柔性透明导电薄膜的需求增多、要求逐渐提高。高分辨率、节能、低成本、附着力强等要求，需要柔性透明导电薄膜具有较高的透过率、较低的电阻率、较强的结合力。得到可应用于产品开发的柔性透明导电薄膜已成为一个关键问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜，该薄膜具有附着力强、成本低、透过率高、电阻低且性能稳定的特点。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜，包括柔性基底，柔性基底顶面依次层叠有预制导电层、第一透明导电膜层、高透减反层、超导层以及第二透明导电膜层；

所述预制导电层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜；

所述第一透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜；

所述高透减反层为单分散SiO₂小球薄膜；

所述超导层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜；

所述第二透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜。

进一步的，所述柔性基底为表面经过羟基化处理的PET、聚乙烯薄膜、聚酯类薄膜、金属箔片或超薄电子信息显示玻璃。

进一步的，所述预制导电层厚度为5～15nm。

进一步的，所述第一透明导电膜层厚度为200～300nm。

进一步的，所述高透减反层的SiO₂小球粒径为100～300nm。

进一步的，所述超导层厚度为15～25nm。

进一步的，所述第二透明导电膜层厚度为100～200nm。

本发明的有益效果是，柔性基底表面经过羟基化处理，有效提高透明导电薄膜与柔性基底的结合力以及柔性透明导电薄膜的导电性能，同时利于提高柔性透明导电薄膜的耐候性，耐酸碱性能，延长使用寿命；高透减反层的SiO₂小球粒径小于可见光波长，可有效减少反射，提高透过率；超导层可以有效提高薄膜导电性能，同时兼具透明性；第一透明导电膜层与第二透明导电膜层叠加厚度小于常规柔性透明导电薄膜，显著降低成本。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的表面形貌图；

图3是本发明的透过率曲线图；

图4是本发明的XRD图谱。

具体实施方式