[发明专利]一种可检真空度的真空玻璃及系统有效

专利信息
申请号: 201811442545.2 申请日: 2018-11-29
公开(公告)号: CN109665725B 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 王磊;孔延梅;焦斌斌;李博;赵发展;韩郑生;罗家俊;刘新宇 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: C03C27/10 分类号: C03C27/10;G01L21/00
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 房德权
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 玻璃 系统
【权利要求书】:

1.一种真空玻璃检测系统,其特征在于,包括可检真空度的真空玻璃和真空测试系统,其中所述可检真空度的真空玻璃包括:第一平板玻璃、第二平板玻璃、封口片、真空计和吸气剂;所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃相对设置,所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间的边部设置有真空密封,所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间形成真空腔体,所述第一平板玻璃上设置有抽气口,所述抽气口上覆盖有封口片,所述真空计设置在所述真空腔体中,所述真空计上设置有用于将真空计的测量数据发送至所述真空腔体外的传输单元;所述吸气剂设置在所述真空腔体中,所述第一平板玻璃和/或所述第二平板玻璃上设置有凹槽,所述吸气剂设置在所述凹槽内;所述真空测试系统和所述真空玻璃中的传输单元耦合;所述真空测试系统,用于计算所述可检真空度的真空玻璃的传热系数;其中,所述可检真空度的真空玻璃的真空层内真空度和真空玻璃间传热系数具有固定的关系,所述传热系数用于表示真空度;所述真空计为真空度检测范围为0.01Pa至一个大气压强的微型皮拉尼真空计;

所述真空计与所述真空测试系统进行无线通信连接,在所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间或其外表面上集成光伏电源;所述光伏电源用于为所述真空计供电;所述真空计与第一平板玻璃或第二平板玻璃之间采用无机焊料焊接。

2.根据权利要求1所述的真空玻璃检测系统,其特征在于,还包括:支撑体;所述支撑体设置在所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间,并用于支撑所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃。

3.根据权利要求2所述的真空玻璃检测系统,其特征在于,所述真空密封由无机焊料焊接形成。

4.根据权利要求1所述的真空玻璃检测系统,其特征在于,所述真空计设置在所述第二平板玻璃上,所述真空计的位置与所述抽气口的位置相对。

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