[发明专利]一种互补型结构的太赫兹超材料传感器

权利要求书

1.一种互补型结构的太赫兹超材料传感器，可用于微量液体的检测中，其特征在于，包括：介质层和附在所述介质层上的亚波长金属层，所述介质层用于支撑金属层，形成谐振腔，所述亚波长金属层上设置有超材料的亚波长金属阵列，超材料的作用在于利用其对外界环境敏感的特性，用于对折射率的传感；所述亚波长金属层的阵列包含在金属层上被挖空的一竖直空气条(1)和两水平空气条(2)，两水平空气条(2)分别为左侧空气条和右侧空气条，所述竖直空气条处于金属层的中心位置，所述两个水平空气条分别位于竖直空气条的两侧，右侧空气条相对于左侧空气条有向下40.0-45.0μm的平移，形成非对称结构，明模诱导明暗模发生强耦合，产生了尖锐的透射峰，实现了类EIT效应，由于空气条是在金属层上被挖空形成的，所以竖直空气条(1)和两水平空气条(2)与亚波长金属层形成了互补结构；

所述产生尖锐的透射峰是在844.4GHz处产生的；

所述竖直空气条的长l1＝170.0μm,宽w1＝24.0μm，水平空气条的长l2＝65.0μm，宽w2＝24.0μm；

所述介质层材料为高阻硅、聚酰亚胺、石英晶体中的一种，厚度为50.0-100.0um，金属层材料为为金、银、铜中的一种，厚度为3.0-5.0μm；

所述竖直空气条与两水平空气条的间距为45.0-48.0μm时，该结构的传感器表现出的谐振效应最强。

2.根据权利要求1所述的一种互补型结构的太赫兹超材料传感器，其特征在于，所述超材料亚波长金属阵列以周期为300.0μm，沿着x、y方向周期性排列。