[发明专利]一种脉冲电镀电源脉冲电流的校准装置及校准方法

权利要求书

1.一种脉冲电镀电源脉冲电流的校准装置的校准方法，校准装置包括：分流器和波形记录仪，其特征在于：分流器的电压端S和Y分别连到波形记录仪的电压测量通道1即CH1输入端；分流器的电流端M和N分别连接到脉冲电镀电源的正极和电镀槽的阳极端；

所述校准方法包括：

步骤1、在电镀槽中装入工作时用的电镀液，阴极和阳极选用金属件作为负载且能满足脉冲电镀电源输出技术指标要求的最大脉冲电流；

步骤2、将脉冲电镀电源输出的脉冲电流信号连接到分流器的M和N端，分流器的电压端S和Y输出的电压信号加到波形记录仪的电压测量通道1即CH1输入端；

步骤3、根据要校准的脉冲电流点，设置脉冲电镀电源输出的平均电流脉冲宽度T_w和脉冲周期T；

步骤4、根据脉冲周期T设置波形记录仪的水平偏转系数，由公式计算峰值电流I_p，如分流器的电阻为R,则分流器输出的脉冲电压V_p按公式：计算，由于有上冲，根据V_p初步设置波形记录仪的垂直偏转系数，波形记录仪输入通道耦合方式设置为直流DC耦合，输入阻抗设置为1MΩ,开启输入通道的低通滤波器；水平偏转系数和垂直偏转系数设置的原则是使显示屏显示1个或多个周期的波形，且波形占显示屏高度的75％-85％；

步骤5、点击波形记录仪前面板右下角的【开始】键，波形记录仪开始运行；启动脉冲电镀电源输出脉冲电流，观察显示屏显示的波形，调节水平偏转系数和垂直偏转系数,并上下左右移动波形，使波形居中，显示屏显示1个或多个周期的波形，且占显示屏高度的75％-85％；

步骤6、当波形稳定显示后，点击波形记录仪前面板右下角的【停止】键，停止运行，波形稳定的显示在显示屏上；

步骤7、利用波形记录仪的AB光标测量功能，如脉冲电镀电源设置的平均电流表示的是导通期间的平均电流，则将A光标移动到m处，B光标移动到q处；如脉冲电镀电源设置的平均电流表示的是周期平均电流，则将A光标移动到m处，B光标移动到r处；如脉冲电镀电源设置的平均电流I表示的是全部波形的平均电流，此时与A光标和B光标的位置无关，不用移动；

步骤8、利用波形记录仪的数值计算功能，计算种类选择：平均值，计算范围选择：如脉冲电镀电源设置的平均电流表示的是导通期间或周期间的平均电流，选择：AB光标间；如脉冲电镀电源设置的平均电流I表示的是全部波形的平均电流，选择：全部波形；

步骤9、单击【计算执行】键，如波形记录仪测得的脉冲电压平均值为分流器的电阻为R，则实测的脉冲电流平均值按公式:计算；电流测量相对误差δ_I按公式:如δ_I在误差范围内，合格，否则不合格。

2.根据权利要求1所述的一种脉冲电镀电源脉冲电流的校准装置的校准方法，其特征在于：所述分流器为加拿大高联(GUILDLINE)公司生产的9230A系列精密电流分流器。

3.根据权利要求1所述的一种脉冲电镀电源脉冲电流的校准装置的校准方法，其特征在于：波形记录仪为日本日置(HIOKI)公司生产的8861－50型波形记录仪。

4.根据权利要求1所述的一种脉冲电镀电源脉冲电流的校准装置的校准方法，其特征在于：电镀槽中装入工作时用的电镀液，阴极和阳极选用属件作为负载。