[发明专利]场效应管及其制备方法

权利要求书

1.一种场效应管，其特征在于，包括：

衬底(100)，包括六方氮化硼层(110)，用于提供支撑；

石墨烯层(200)，包括相对的第一表面(210)和第二表面(220)，所述第一表面(210)与所述六方氮化硼层(110)接触，所述第二表面(220)包括氢化区(222)；以及

栅介质层(300)，覆盖于所述氢化区(222)。

2.根据权利要求1所述的场效应管，其特征在于，还包括源极(400)和漏极(500)，相对且间隔设置于所述第二表面(220)，且所述栅介质层(300)设置于所述源极(400)和所述漏极(500)之间。

3.根据权利要求2所述的场效应管，其特征在于，所述源极(400)和所述漏极(500)均包括叠加的Ti层(700)和电极主体层(800)，且所述Ti层(700)覆盖于所述石墨烯层(200)表面。

4.根据权利要求1所述的场效应管，其特征在于，所述衬底(100)还包括基底(120)，所述六方氮化硼层(110)设置于所述基底(120)的表面。

5.根据权利要求1所述的场效应管，其特征在于，还包括栅极(600)，设置于所述栅介质层(300)远离所述氢化区(222)的表面。

6.一种场效应管的制备方法，其特征在于，包括：

提供一基底(120)，在所述基底(120)表面形成六方氮化硼层(110)；

在所述六方氮化硼层(110)表面形成石墨烯层(200)；

对所述石墨烯层(200)有选择的进行氢化，在所述石墨烯层(200)表面形成氢化区(222)；

在所述氢化区(222)形成栅介质层(300)。

7.根据权利要求6所述的场效应管的制备方法，其特征在于，所述在所述基底(120)表面形成六方氮化硼层(110)，包括：

制作六方氮化硼混合溶液；

对所述六方氮化硼混合溶液进行超声处理，得到分离溶液；

静置所述分离溶液，得到分层溶液；

提取所述分层溶液中的上层清液，并进行离心处理，得到六方氮化硼沉淀物；

将所述六方氮化硼沉淀物转移到所述基底(120)表面，形成所述六方氮化硼层(110)。

8.根据权利要求6所述的场效应管的制备方法，其特征在于，所述对所述石墨烯层(200)有选择的进行氢化，在所述石墨烯层(200)表面形成氢化区(222)，包括：

在所述石墨烯层(200)选择两个间隔的区域分别形成源极(400)和漏极(500)；

对所述石墨烯层(200)表面所述源极(400)和所述漏极(500)之间的区域进行氢化，形成所述氢化区(222)。

9.根据权利要求8所述的场效应管的制备方法，其特征在于，所述在所述石墨烯层(200)选择两个间隔的区域分别形成源极(400)和漏极(500)，包括：

在所述选择的区域形成一层Ti层(700)；

在所述Ti层(700)表面形成一层电极主体层(800)，形成所述源极(400)和所述漏极(500)。

10.根据权利要求6所述的场效应管的制备方法，其特征在于，所述在所述氢化区(222)形成栅介质层(300)后，还包括：

在所述栅介质层(300)表面制作栅极(600)。