[发明专利]一种生长混合相锌镁氧三元氧化物纳米线网的方法有效
申请号: | 201811445601.8 | 申请日: | 2018-11-29 |
公开(公告)号: | CN109504951B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 陆文强;马赛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 周建军 |
地址: | 400714 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生长 混合 相锌镁氧 三元 氧化物 纳米 方法 | ||
1.一种生长混合相锌镁氧三元氧化物纳米线网的方法,其特征在于,利用高温化学气相沉积方法,在高温管式真空炉中间放置盛有反应源混合物的舟,反应源混合物中,以摩尔量计,氧化锌:氮化镁:纳米金刚石粉末=1:1:2或1:2:3,然后将蒸镀有金5-10nm的硅片倒扣在盛有反应源混合物的舟上,也就是硅衬底镀有金的生长面背向反应源混合物,使得镀金的一面裸露,便于后续混合源在该表面发生反应;关好反应腔室后,用机械泵把真空管式炉的石英管抽至真空状态,然后升温,将温度升至800-1000℃,再将流速为100sccm的氩气、流速为2sccm的氧气通入反应腔室内,控制石英管内的压强稳定在10-30kPa之间,设定的材料恒温生长时间为60分钟,直至反应结束后,关闭管式炉的通气系统和升温系统,让石英管自然降温冷却至室温,最后取出样品,在镀金的硅衬底上生长出的白色物质即为混合相结构锌镁氧纳米线网;所述混合相锌镁氧三元氧化物纳米线网的锌/镁的原子数之比为0.45/0.55或0.37/0.63,所述纳米线存在纤锌矿结构和立方相结构的混合相锌镁氧晶体结构,锌镁氧的光谱吸收峰值处于245nm或225nm,纳米线网材料带隙宽度为4.31eV或4.50eV。
2.根据权利要求1所述方法制得的混合相结构锌镁氧纳米线网。
3.具有权利要求2所述混合相结构锌镁氧纳米线网的光电器件。
4.根据权利要求3所述的光电器件,其特征在于,所述光电器件为传感器。
5.根据权利要求4所述的光电器件,其特征在于,所述传感器为日盲紫外光电探测器。
6.一种用于生长锌镁氧三元氧化物纳米线的反应源,其特征在于:包括锌源、镁源、碳源,所述锌源为氧化锌,所述镁源选自氮化镁、硼化镁中的至少一种,所述碳源选自纳米金刚石粉末、石墨中的至少一种,以摩尔量计,锌源:镁源:碳源=1:(1-2):(2-3)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的