[发明专利]具有WSA位敏结构的自供电半导体光电催化器件有效
申请号: | 201811446640.X | 申请日: | 2018-11-29 |
公开(公告)号: | CN109467159B | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 母一宁;陈卫军;杨继凯;曹喆;肖楠;王帅;刘春阳 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学;长春市洁环光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/00 | 分类号: | H01L31/00;C02F1/30;C02F1/46 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 王丹阳 |
地址: | 130022 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 wsa 结构 供电 半导体 光电 催化 器件 | ||
具有WSA位敏结构的自供电半导体光电催化器件属于光电催化技术领域。现有半导体光电催化器件不能在日照时间的推移过程中,保持其催化净化效果始终处在最佳状态。本发明其特征在于,在P‑N+硅片的N+区表面交叉分布一组楔形阳极W和一组条形阳极S,楔形阳极W与条形阳极S之间的部分为第三阳极A,楔形阳极W、条形阳极S、第三阳极A由楔形阳极沟道、条形阳极沟道分隔;楔形阳极沟道、条形阳极沟道的沟道宽度a为100~120μm,沟道底部位于P‑区,沟道位于P‑区部分的深度b为50~120μm,在沟道底部分布半导体纳米线光电催化层,半导体纳米线光电催化层的厚度为1~2μm;P‑区至N+区掺杂浓度由稀变浓。本发明能够利用WSA位敏结构使得半导体光电催化器件跟踪日光,确保光能接收量。
技术领域
本发明涉及一种具有WSA位敏结构的自供电半导体光电催化器件,能够用来催化净化水体,利用光照实现自供电,提高催化效率,同时,其中的WSA位敏结构(wedge stripanode,楔条型阳极)使得该半导体光电催化器件能够跟踪日光,确保光能接收量,属于光电催化技术领域。
背景技术
半导体光电催化技术始于1972年问世的TiO2(二氧化钛)催化污水的净化。该技术将TiO2薄膜作为电极,在光照的条件下发生光解水反应,以此发挥催化作用。之后,半导体能带理论被用于解释TiO2光催化机制,当入射的光子能量大于TiO2半导体禁带宽度时,位于价带的电子会跃迁到导带,电子成为具有还原性的高活性电子,同时在价带上产生带正电的具有氧化性的空穴。不过,在电子和空穴会向表面迁移的过程中,一部分电子和空穴会发生体内复合,并且,载流子复合率较高,导致TiO2光催化效率降低。人们发现ZnO、WO3、CdS、ZnS等也都可以作为半导体光催化材料使用,但是,载流子复合率同样较高,而且往往高于TiO2。现有技术通过TiO2改性来降低载流子复合率,提高量子效率。改性措施包括减小晶粒粒度、选择合适的晶型、沉积贵金属、使半导体复合、电化学与光催化相结合等。实验结果表明,电化学与光催化相结合,也就是光电催化能够显著提升反应中的量子效率,进而提高催化效率。
以TiO2为例,实现光电催化先要制作TiO2光电阳极,如悬浮态光电阳极、固定化膜光电阳极以及透明固定化膜光电阳极等,由外部电路加偏置电压,以使电子更加容易离开TiO2表面,从而提高催化效率。如制作TiO2固定化膜光电阳极,引线接外部电源,加10~1000mV的偏置偏压,用于降解苯酚,催化效率能够提高20%以上。然而,制作薄膜光电阳极,外接电源提供偏置电压,这使得光电催化器件结构变得复杂,还需要额外耗费能量,再有就是薄膜状态的催化材料的催化面积有限,而且容易失活。
现有技术还存在一个技术问题,当半导体光电催化器件用于自然水体催化净化时,实现光电催化的光源为日光,而随着时间从早到晚推移,日光的照射强度和角度都在改变,半导体光电催化器件的催化净化效果并未始终处在最佳状态。
发明内容
为了在提高催化效率的前提下,简化半导体光电催化器件的结构,绿色节能,进一步加大催化面积,延长光电催化材料的寿命,同时,保持半导体光电催化器件在使用中始终处在最佳催化净化状态,我们发明了一种具有WSA位敏结构的自供电半导体光电催化器件。
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