[发明专利]电磁传感器

说明书

本发明提供即使在固体物质混入到样品溶液的情况下也能够稳定地测量电磁的电磁传感器。电磁传感器具备：基板；形成于该基板的贯通孔；安装于所述基板的表面的电极；以及覆盖所述贯通孔和所述电极的箱体，供给到所述基板中的与安装有所述电极的一侧的面相反一侧的表面的样品溶液从所述贯通孔流入并收纳于所述箱体内部，由此所述样品溶液与所述电极接触。

技术领域

本发明涉及测量样品溶液的电导率、电阻率、介电常数等的电磁传感器。

背景技术

为了稳定地测量电导率等，需要有在内部收纳样品溶液并且覆盖测量电极来控制电力线、磁力线等的扩展范围的箱体。

因此，例如如专利文献1所示，在现有的电导率传感器中，设置有以将安装在基板上的电极覆盖的方式控制电力线的扩展范围的箱体，并使样品溶液在形成于该箱体内部的流路中流通而对其进行测量。

但是，在这样的现有的电导率传感器中，由于电极直接暴露于在上述箱体内部产生的样品溶液的液流中，所以在固体物质混入到样品溶液的情况下等，上述电极有可能与该固体物质接触而受损。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-135241号公报

发明内容

技术问题

本发明是鉴于上述问题而完成的，主要目的在于提供即使在例如固体物质混入到样品溶液的情况下也能够稳定地测量电导率、电阻率或介电常数等的电磁传感器。

技术方案

即，本发明的电磁传感器具备：基板；形成于该基板的贯通孔；安装于所述基板的表面的电极；以及覆盖所述贯通孔和所述电极的箱体，供给到所述基板中的与安装有所述电极的一侧的面相反一侧的表面的样品溶液从所述贯通孔流入并收纳于所述箱体内部，由此所述样品溶液与所述电极接触。

根据这样的电磁传感器，由于供给到上述基板的与安装有上述电极的一侧的面相反一侧的表面的样品溶液从上述贯通孔流入并收纳于上述箱体内部，由此上述样品溶液与上述电极接触，所以该电极难以直接暴露于样品溶液的液流中。

因此，即使在固体物质包含于样品溶液的情况下，也能够降低上述电极受损的可能性，能够稳定地测量电导率等。

但是，在印刷有电极的片状的基板11搭载电磁传感器123等多种传感器且使少量的样品溶液S接触到该基板11上而进行测量的多传感器单元1中，以往如图9所示，以覆盖设置于上述基板11上的例如电导率测量用的电极1232且向上述基板11的被供给样品溶液S的一侧突出的方式安装箱体125，并在该箱体125形成有贯通孔。

此外，在例如将离子选择性电极121等作为上述多种传感器之一安装于上述基板11的情况下，特别是ISFET电极121P被安装为向上述基板11的与接触于样品溶液S的面相反的一侧突出。

因此，在这样的现有的多传感器单元1中，如图9所示，在测量样品溶液S的电导率等的情况下，至少需要使从上述基板11的表面到上述箱体125的高度为止被样品溶液S填满。

进而，为了使多种传感器与样品溶液S接触，需要使样品溶液遍布某程度的面积，所以存在难以减少测量所需的样品溶液S的量的问题。

此外，由于上述电导率传感器123与上述ISFET电极121P夹着上述基板11分别向相反方向突出，所以还存在难以减小上述多传感器单元1的厚度的问题。