[发明专利]光学发射光谱仪及其运行方法和应用有效
申请号: | 201811449340.7 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109870235B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | A·威兹格;M·范斯图耶文伯格;R·西蒙斯 | 申请(专利权)人: | 布鲁克AXS有限公司 |
主分类号: | G01J3/443 | 分类号: | G01J3/443;G01J3/36;G01N21/63 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 程猛 |
地址: | 德国卡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 发射 光谱仪 及其 运行 方法 应用 | ||
1.一种光学的发射光谱仪(1),其包括:
用于待检查的样品(3)的激发装置(2);
用于光谱分解由激发的样品(3)发出的光(5)的色散元件(7);
多个光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni),所述光电二极管设置为,使得能够借助不同的光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)检测所发出的、分解的光(5)的不同的光谱分量(S1-Sn);和
多个用于光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)的读取电子器件(22),
其特征在于,
相应的读取电子器件(22)具有电荷存储器组件(23),电荷存储器组件包括多个单独的电荷存储器(31-34),其中,电荷存储器(31-34)能够以级联方式彼此互连,使得从所属的光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)流入的电荷依次填充电荷存储器(31-34),
并且借助于相应的读取电子器件(22)能够读取电荷存储器组件(23)的电荷存储器(31-34)的子集的电荷。
2.根据权利要求1所述的发射光谱仪(1),其特征在于,借助于相应的读取电子器件(22)能够读取电荷存储器组件(23)的各个电荷存储器(31-34)的电荷。
3.根据权利要求1或2所述的发射光谱仪(1),其特征在于,在相应的电荷存储器组件(23)中在级联中位于后部的电荷存储器(31-34)比在级联中位于前部的电荷存储器(31-34)具有更大的存储容量。
4.根据权利要求1或2所述的发射光谱仪,其特征在于,
借助于相应的读取电子器件(22)能够读取电荷存储器组件(23)的电荷存储器(31-34)的子集的电荷,其中,子集中的第一子集仅包括在级联中位于最前部的电荷存储器(31),并且子集中的下一子集包括前一子集的电荷存储器(31)以及附加地包括在级联中位于后部的下一电荷存储器(32),
并且借助于相应的读取电子器件(22)还能够读取电荷存储器组件(23)的所有电荷存储器(31-34)的电荷。
5.根据权利要求1或2所述的发射光谱仪(1),其特征在于,激发装置(2)是火花源。
6.根据权利要求1或2所述的发射光谱仪(1),其特征在于,光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)相应与测量-传输门(21)和导出-传输门(41)连接,其中,借助测量-传输门(21)和导出-传输门(41)能够相应建立和中断与光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)的电连接,
提到的读取电子器件(22)连接在测量-传输门(21)下游,
并且导出-传输门(41)构成用于,从所属的光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)导出电荷。
7.根据权利要求6所述的发射光谱仪(1),其特征在于,存在电子控制器件(38),借助电子控制器件能够切换测量-传输门(21)和导出-传输门(41),使得在相应的时间点,相应所属的光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)的测量-传输门(21)和导出-传输门(41)中的仅一个建立与所属的光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)的电连接。
8.根据权利要求6所述的发射光谱仪(1),其特征在于,光电二极管(P1-Pn、P1i-Pni)也相应与一个或多个另外的测量-传输门(51)连接,并且提到的读取电子器件(22)连接在相应的一个另外的测量-传输门(51)的下游。
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