[发明专利]一种一体化电极及在等离子体增强化学气相沉积设备中的应用

权利要求书

1.一种一体化电极，其特征在于，包括一体化电极气盒与电极基座；

所述的一体化电极气盒包括电极顶板、电极中板、电极基座板、电极基座绝缘墙、金属电极柱；

电极基座绝缘墙为上下二端开口的筒体，电极顶板和电极基座板分别置于电极基座绝缘墙的上下二开口端处，它们的四周边缘分别与开口端密闭连接，电极中板设置于筒体中部，电极中板的四周边缘与筒体内壁面密闭连接；

电极顶板、电极中板、电极基座板均为平板，它们相互间隔平行设置；电极顶板的中部和电极中板的中部通过金属电极柱连接，电极中板的中部和电极基座板的中部通过一下端穿过电极基座板的金属电极柱连接；于电极顶板和电极中板上开设有作为气孔的通孔；于电极基座板上设有作为进气口的导管；

所述的电极基座包括金属基座、屏蔽罩、屏蔽罩绝缘材料、基座电极绝缘材料、进气口绝缘管和进气口金属管、金属电缆管、沉头螺丝；

金属屏蔽罩为上下二端开口的筒体，筒体下开口端设有平板状金属基座，金属基座的四周边缘与筒体下开口端密闭连接，于金属屏蔽罩内金属基座上方设有电极板的绝缘材料层，于电极板的绝缘材料层上方金属屏蔽罩内套设有上下二端开口的筒状屏蔽罩的绝缘材料层；

电极气盒置于屏蔽罩的绝缘材料层内；于金属基座中部设有与金属电极柱对应的作为电源线穿过孔的电源线绝缘材料筒，穿过电极基座板的金属电极柱穿套于电源线绝缘材料筒内；于金属基座上设有与金属电极柱对应的作为电极基座板进气口对应的电极基座进气口，电极基座板进气口的导管穿套于电极基座进气口中。

2.根据权利要求1所述的一体化电极，其特征在于：

所述的电极气盒上的电极板与电极板之间和金属电极柱与电极板之间都采用固定螺丝相连；电极顶板、电极中板上密布有小孔。

3.根据权利要求1或2所述的一体化电极，其特征在于：

所述的电极气盒由电极中板分为上混气室和下混气室；下混气室与进气口相连，此进气口材质为绝缘材料，通过拧紧的方式固定在电极基座板上；下混气室和上混气室通过中间电极板的气孔连接，该气孔为小孔；上混气室的气体最终由上电极板的出气孔喷出进入等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）的沉积区域。

4.根据权利要求1所述的一体化电极，其特征在于：

所述的电极基座由金属基座、金属屏蔽罩、屏蔽罩绝缘材料、基座电极绝缘材料、进气口绝缘管和进气口金属管、金属电缆管、沉头螺丝组成；

所述的金属基座开有四个螺丝口，用于固定于金属屏蔽罩上；金属基座接地；

所述的屏蔽罩用沉头螺丝固定在金属基座上。

5.根据权利要求1所述的一体化电极，其特征在于：

所述的屏蔽罩绝缘材料、基座电极绝缘材料、进气口绝缘管可以是陶瓷或聚四氟乙烯中的一种或二种以上。

6.根据权利要求1所述的一体化电极，其特征在于：

所述的屏蔽罩绝缘材料筒上开口端要高于金属屏蔽罩上开口端和电极顶板上表面，形成断层。

7.根据权利要求1或4所述的一体化电极，其特征在于：

电极基座板进气口的导管穿套于电极基座进气口中，导管为金属管，进气口金属管和电极基座进气口采用旋紧的方式相连；电极基座进气口下部设有进气口绝缘管，所述的进气口绝缘管采用旋紧的方式与进气口金属管相连。

8.根据权利要求4所述的一体化电极，其特征在于：

所述的电源线绝缘材料筒外套设有金属电缆管，金属电缆管是金属电极接头和金属电缆的保护外壳和屏蔽罩，它们中间采用绝缘材料分隔。

9.一种权利要求1-8任一所述一体化电极在等离子体增强化学气相沉积设备中的应用。