[发明专利]具有转轴驱动组件的多自由度样品杆有效
申请号: | 201811450211.X | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN111257355B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 王宏涛;张奕志 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;H01J37/20 |
代理公司: | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 杜放 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 转轴 驱动 组件 自由度 样品 | ||
1.具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,其特征在于:包括骨架和转轴,骨架和转轴之间设有至少一组转轴驱动组件,每一组转轴驱动组件包括驱动单元,驱动单元包括基板和压电陶瓷片;
基板为PCB印制电路板,基板上具有陶瓷片区域和电极区域;
基板上有凹台和一对安装孔,以安装孔作为基板的前后两端,陶瓷片区域和电极区域位于基板的中央,凹台位于基板的前后两端,在安装孔周围;陶瓷片区域和电极区域位于基板的左右两侧;
陶瓷片区域有一个压电陶瓷片,或者堆叠有至少两个压电陶瓷片,有至少两个压电陶瓷片时,压电陶瓷片的伸缩方向互不相同。
2.如权利要求1所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,其特征在于:压电陶瓷片堆叠粘接于陶瓷片区域,压电陶瓷片的两侧表面均匀涂敷导电涂层,为上层电极和下层电极;电极区域上有复数线路,线路与压电陶瓷片表面的导电涂层电连接。
3.如权利要求1所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,其特征在于:最下层压电陶瓷片的下层电极与基板上的陶瓷片区域直接接触,通过陶瓷片区域上的线路连接到基板上的电极区域;最上层压电陶瓷片的上层电极表面具有A区域和B区域;驱动单元具有耐磨片,耐磨片粘贴于A区域;B区域与一根转接导线电连接;转接导线的一端与基板上的电极区域电连接。
4.如权利要求3所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,其特征在于:转接导线锡焊于B区域;或者,转接导线以导电胶水粘接于B区域。
5.如权利要求4所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,其特征在于:有至少两个压电陶瓷片时,除了最上层压电陶瓷片外的每一层压电陶瓷片的上层电极具有重叠区域和外露区域;重叠区域与这层压电陶瓷片的上一层压电陶瓷片的下层电极电连接;外露区域与一根转接导线电连接;转接导线的一端与基板上的电极区域电连接;转接导线锡焊于外露区域;或者,转接导线以导电胶水粘接于外露区域。
6.如权利要求5所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,其特征在于:转接导线锡焊于基板上的电极区域。
7.如权利要求1所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,其特征在于:驱动单元包括第一电极板、第二电极板和第三电极板,压电陶瓷片包括第一压电陶瓷片和第二压电陶瓷片;安装顺序依次为第一电极板、第一压电陶瓷片、第二电极板、第二压电陶瓷片、第三电极板;第一压电陶瓷片的剪切变形方向和第二压电陶瓷片的剪切变形方向不同;第三电极板靠近转轴但不与转轴接触。
8.如权利要求7所述的具有转轴驱动组件的多自由度样品杆,其特征在于:第一电极板粘接固定于基板上,基板为绝缘层,第三电极板上设有与转轴接触的耐磨层。
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